大行程微进给系统设计与研究.pdfVIP

摘 要 在高精度的加工过程中，大行程微进给机构是保证加工精度的核心部分。因此，对 于大行程微进给机构的设计研究非常必要。 本文主要通过对比研究不同微进给系统的优缺点，选用了体积小巧、位移精准度及 抗干扰性强的压电陶瓷作为进给机构的主要驱动部分，而大行程部分则由差动丝杠来 完成。由于压电陶瓷会在工作中产生迟滞现象，不易消除自身产生的稳态误差，故选 用了模糊控制加以调节。通过Matlab 中Simulink 进行仿真分析可得，系统的阶跃波动 可在0.1s 趋于稳定，且无累计误差。位移输出精度的理论值可达0.03μm 。 关键词： 大行程 微进给 压电陶瓷 差动丝杠 模糊控制 ABSTRACT In the high-precision processing, large stroke micro feed mechanism is the core part which can guarantee the machining accuracy. So it is very necessar