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微尖的两种制作工艺3 - CORE
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传感器技术 Journal of Transducer Technology 2004 年 第 23 卷 第 2 期
74
前沿技术
微尖的两种制作工艺
王明亮 , 王艳华 , 郑剑铭 , 孙道恒
(厦门大学 机电工程系 ,福建 厦门 361005)
摘 要 : 描述各向异性腐蚀结合键合和各向异性腐蚀结合电镀来制作微尖的方法 ,利用这两种方法制作
出了针尖直径小于25 nm 的金字塔形微尖,通过实验证明 :这是两种有良好可控性和工艺要求不高的制作方
法。微尖的成功制作为传感器微型化提供了一种很有潜力的新型检测方式 ,解决了检测的灵敏度问题。
关键词 : 微尖 ; 各向异性腐蚀 ; 键合 ; 电镀
( )
中图分类号: TP212 文献标识码 : B 文章编号 : 1000 - 9787 2004 02 - 0074 - 03
Two fabrication processes of microtip
WAN G Mingliang , WAN G Yanhua , ZHEN G Jianming , SUN Daoheng
( Dept of Mech and Elec Engin , Xiamen University , Xiamen 361005 ,China)
Abstract : Serial p yramid tips whose diameters are smaller than 25nm are designed and fabricated , utilizing
anisotropic etching combining with banding and anisotropic etching combining with electroplating respectively. It
is proved that these are two effective processes to fabricate microtip with well controllability and low processing
restriction. The success of the fabrication of micro - tip provides a new kind of potential measuring mode for
sensor miniaturization , which improves their sensitivity greatly.
Key words : microtip ; anisotropic etching ; bonding ; electroplating
合 ,最后腐蚀 Si 释放出微尖 ;第二种方法是在得到
倒金字塔尖后电镀金属 Ni , 最后腐蚀 Si 释放出微
0 引 言
尖。
微尖是进入微米、亚微米、纳米领域时一种很重
1 工
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