有机材料衬底ITO 透明导电膜的结构和导电特性研究.PDF

　第 19 卷第 11 期　　　　　　　半　导　体　学　报　　　　　　　　 . 19, . 11　 V o l N o 　1998 年 11 月　　 　　　 　　　　　　 . , 1998　 CH IN ESE JOU RNAL O F SEM ICONDU CTOR S N ov 有机材料衬底 ITO 透明导电膜 的结构和导电特性研究 马　瑾　赵俊卿　李淑英　马洪磊 ( 山东大学光电材料与器件研究所　济南　250100) 摘要　采用真空反应蒸发技术, 蒸发高纯度铟锡合金, 在有机薄膜基片上制备出高质量的 ITO 透明导电薄膜. 研究了薄膜结构及电阻率、载流子浓度和迁移率等电学参数对制备条件的依赖 关系. 对制备薄膜的导电机