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第 26 卷 第 5 期 红 外 技 术 Vol.26 No.5 2004 年 9 月 Infrared Technology Sep. 2004 红外焦平面阵列性能参数测试平台* 肖 静，周 昊，何兆湘，陈四海，易新建 （华中科技大学光电子工程系，湖北武汉 430074 ） 摘要：分析了红外焦平面阵列器件性能参数测试平台的要求，建立了包括红外源及IRFPA 模块、控制 模块和信号放大、采集、处理模块在内的测试系统，可用来进行响应率、探测率、噪声等效功率、噪 声等效温差等红外焦平面阵列性能参数的测试。用此参数测试平台来测试160 ×120 红外焦平面阵列， 经软件分析处理测试数据，证明该测试平台是准确有效的。最后对红外焦平面阵列性能参数测试平台 的进一步优化提出了要求。 关键词：红外焦平面阵列；参数测试平台；数据分析处理软件；无效像元 中图分类号：TN219 文献标识码：A 文章编号：1001-8891(2004)05-0075-05 1 概述 红外焦平面阵列（IRFPA ）是凝视型红外热成像系统的核心器件，其性能直接关系到红外热像仪的性能评 价。搭建一个有效的红外焦平面阵列器件性能参数测试平台是对红外焦平面阵列器件进行准确评价的前提，这 对于热成像系统的设计者和使用者来说都有着非常重要的指导意义。 与单元红外探测器不同，红外焦平面阵列不仅能将热辐射转化为微弱的电信号，而且还带有读出电路 （ROIC ），能将获取的面阵信号经一定的方式输出。因此对红外焦平面阵列的参数评价与对单元红外探测器的 参数评价有着很大不同，除了要对每个探测器像元的性能进行评估外，还应对红外焦平面阵列的性能有整体的 评价参数。 2 主要性能参数 根据中华人民共和国国家标准 GB/T 17444-1998 《红外焦平面阵列特性参数测试技术规范》，红外焦平面阵 列器件的主要性能参数有以下几个[1] ： 1）像元响应率（Pixel Responsivity ）：焦平面在一定帧周期或行周期条件下，在动态范围内，像元每单位辐 照功率产生的输出信号电压； 2 ）像元探测率（Pixel Detectivity ）：单位辐照投射到单位面积的像元上，在单位带宽内获得的信噪比； 3 ）噪声等效功率（Noise Equivalent Power ）：焦平面输出的峰值信号电压与均方根噪声电压之比为 1 时所 需要的信号功率； 4 ）噪声等效温差（Noise Equivalent Temperature Difference ）：焦平面输出的峰值信号电压与均方根噪声电 压之比为 1 时目标与背景的温差； 5 ）死像元数（Dead Pixel ）：像元响应率小于平均响应率 1/10 的像元数； 6 ）过热像元数（Over Hot Pixel ）：像元噪声电压大于平均噪声电压 10 倍的像元数； 7 ）响应率不均匀性（Responsivity Non-uniformity ）：焦平面各有效像元响应率均方根偏差与平均响应率的 比值。 3 测试技术的发展及框架 3.1 测试技术的发展 国内外主要的红外成像系统设计生产厂家都有相应的测试系统，来测试包括ROIC 在内的 IRFPA 各部分的 参数。但要建立一套完整和高效的测试体系，需要投入大量的资金和实验装备。为了能在实验室实现 IRFPA 的 性能参数测定，建立一个简单但可靠的测试平台是十分必要的，这对于实验室评价 IRPFA 的性能有着重要的意 * 收稿日期：2004-08-18 75 第 26 卷 第 5 期 Vol.26 No.5 2004 年 9 月 肖静等：红外焦平面阵列性能参数测试平台 Sep. 2004 义。 随着阵列规模的增