光电功能薄膜技术（研讨）外延技术.pdfVIP

两类薄膜生长方法：薄膜沉积和薄膜外延 分子束外延 Molecular Beam Epitaxy 有机金属化合物化学气相沉积MOCVD Metalorganic Chemical Vapor Deposition 原子层沉积 Atomic Layer Deposition Epitaxy Growth 岛状生长模式 (Island Growth) Volmer - Weber M ode  层状生长模式 (Layer by Layer Growth) 生长模式的划分 Frank - Van der M erwe M