原创力文档- 1、本文档共4页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
坩埚下降法生长红外砷化镓晶体的研究-上海应用技术学院学报
第 卷 第 期 应 用 技 术 学 报
１７ １ Vol．１７No．１
年 月 JOURNALOFTECHNOLOGY
２０１７ ３ Mar．２０１７
文章编号: ( ) : /
２０９６Ｇ３４２４２０１７０１Ｇ００１０Ｇ０５ DOI１０．３９６９ ．issn．２０９６Ｇ３４２４．２０１７．０１．００３
j
坩埚下降法生长红外砷化镓晶体的研究
１ ２ ２ ２ ３ ３
金 敏 , 徐家跃 , 范世骥 , 申 慧 , 何庆波 , 谈慧祖
( , ;
１．中国科学院 宁波材料技术与工程研究所 浙江 宁波 ３１５２０１２．上海应用技术大学 材料科学与
, ; , )
工程学院 上海 ２０１４１８３．昆山鼎晶镓业晶体材料有限公司 江苏 昆山 ２１５３００
: , , /
摘 要 利用坩埚下降法生长红外砷化镓晶体 坩埚下降炉控温 晶体以 速度
１２６０℃ ２．５mm h
/ 、
在温度梯度为１０℃ cm的条件下结晶生长．PBN坩埚外壁黏附有气相自发成核 尺寸为 １~３mm
,
的砷化镓单晶颗粒 生长的砷化镓晶体直径约 总长约 晶体头部放肩阶段存在异
． ５０．８mm １４０mm．
, ,
相成核 尾部出现多晶截断后获得的砷化镓单晶长约 成晶率达 砷化镓单晶结晶质
． １００mm ７０％．
－２ －２ ７
, ,
量良好 头尾平均位错密度分别为 和 电阻率达 量级 砷化镓单晶
８６８cm １４３６cm １０Ω cm ．
,
整体红外透过率约为 接近最高理论透过率 满足工业界使用要求
５５％ ５５．８％． ．
:
文档评论（0）