机床直行部件运动误差测量的精度分析与对策①.pdf

高技术通讯 　2002. 09 机床直行部件运动误差测量的精度分析与对策① ② 苏 　恒 　洪迈生 　李自军 　魏员雷 (上海交通大学机械工程学院 　上海 200030) 摘 　要 　分析了经典频域三点法测量直行部件运动误差时所存在的谐波抑制 ,直线度误 差的非周期性、非封闭性以及端点不连续而引起的高阶谐波分量失真等方法误差。为了 减少上述方法误差 ,提出了一种新的时域两点法误差分离技术。首先对传感器拾取的数 据做对称延拓 ,这样可以减小由于所采信号的非封闭性所引起的高阶谐波失真。利用频 域三点法得到时域两点法所需要的叠代初值。采用现代控制理论研究了谐波抑制的产生 机理。通过合理地配置传感器的安装位置可以优化测量系统的传递特性 ,减少谐波抑制 的发生。该方法既可以得到机床直行部件的运动误差 ,又可以得到在该机床上加工零件 的直线度形状误差 ,这些测量信息都有助于诊断机床的误差源。通过试验验证了该方法 的有效性和精确性。 关键词 　趋势项 , 对称延拓 , 误差初值 , 运动误差 , 误差分离技术 出了一种名为精确时域两点法的 EST 方法。在该 0 　引言 方法中 ,所提出的新的时域递推初值确定方案和均 化算法都有助于提高测量精度。 零件的直线度形状误差是衡量其形状精度的重 要指标。一般地 ,零件的直线度误差来源于加工过 1 　经典频域三点法 程中机床的直行部件误差运动、切削用量的变化、加 工机床和被加工零件的热变形等因素。在精密加工 频域三点法测量原理如图 1 所示。0 、1 、2 号电 中 ,在线测量被加工工件的形状误差和机床部件的 容传感器安装在测量架上 ,它们的安装间隔分别为 运动误差 ,并且把测量数据反馈回加工设备变得越 l 1 和 l2 。传感器随着测量架的移动而扫描被测工件 来越重要。在以“工件为基准”的测量方案中 ,测量 的表面轮廓。由图 1 可知 3 个传感器的输出为 : 信号包含工件的直线度形状误差和机床直行部件的 y 0 ( n) 1 0 0 h ( n + p 0) 运动误差。为了实现这两项误差分量的测量和分 y ( n) = 0 1 0 h ( n + p ) 1 1 离 ,近年来出现了直线度误差分离的“两点法”、“三 y 2 ( n) 0 0 1 h ( n + p 2) 点法”、“四点法”及“混合法”等。它们又可以分为两 Δ 1 p 0 l 大类 :时域法和频域法。在频域法中 ,采用类似于圆 δ( n) Δ y 1 p l ( ) + 1 1 度误差分离技术中的强迫周期化 ,结果由于边缘不