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计算机科学 ComputerScience 半导体制程中LPCVD的派工方案 侯 刚 (上海交通大学，上海 200240) 摘 要：半导体制造业是全球发展最快最先进的行业之一，其产品种类繁 多、X-序繁琐、物料清单复杂，对设 备的利用率有较高要求。这本文根据半导体LPCVD特有的生产流程，考虑半导体代工厂的制品加工特性、产能、 资源利用率、优先级、制品来料预测等多种约束限制，通过将半导体生产的派工问题建模，解决生产过程中遇到的 瓶颈设备产能不足，延缓制品流通时间等问题，解决实际的生产控制问题提供了非常有价值的解决方案。 关键词：半导体制造；生产派工；LPCVD 中图分类号：TD745 文献标识码：A 文章编号：1674-7712(2014)18-0159-01 电路制作是在硅片的基础上制成一层层的电路的过程， 第 2步：给制品排序：首先按照限定数量排序一限定 因为线路极其细微，其制造过程也就有很高的难度，生产上