粉末溅射ZnO薄膜酒敏元件 - 山东大学学报(工学版).PDF

第 卷 第 期 ３７ １ 山 东 大 学 学 报 （工 学 版） 年 月 ２００７ ２ Ｖｏｌ．３７ Ｎｏ．１ （ ） Ｆｅｂ．２００７ ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＳＨＡＮＤＯＮＧＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ ＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧＳＣＩＥＮＣＥ 文章编号： （ ） １６７２３９６１２００７０１０１１１０４ 粉末溅射 ＺｎＯ薄膜酒敏元件 １ １ １ １ ２ 周 磊 ，邢建平 ，周 晨 ，洪德斌 ，裘南畹 （ 山东大学 信息科学与工程学院， 山东 济南 ； １． ２５０１００ ２．山东大学 物理与微电子学院， 山东 济南 ２５０１００） 摘要：针对金属氧化物薄膜气敏元件传统制造工艺中存在的掺杂不稳问题，开发了一种实用化的ＺｎＯ薄膜气敏基 材料 采用粉末溅射法研制 ： 薄膜，利用衬底 与 晶体均为六方结构的特点，选择适当溅射参 ． ＺｎＯ１％ＣｅＯ ＡｌＯ ＺｎＯ ２ ２ ３ 数研制出薄膜气敏元件，同时通过悬挂芯片双点焊工艺，使元件更加小型化 长期检测结果表明，此类元件气敏特 ． 性和稳定性良好，适合进一步推广应用． 关键词：粉末溅射；薄膜；双点焊 中图分类号： 文献标识码： ＴＮ３０５．９４ Ａ ＰｏｗｄｅｒｓｐｕｔｔｅｒｅｄＺｎＯｔｈｉｎｆｉｌｍａｌｃｏｈｏｌｓｅｎｓｏｒ １ １ １ １ ２ ， ， ， ， ＺＨＯＵＬｅｉ ＸＩＮＧＪｉａｎｐｉｎｇ ＺＨＯＵＣｈｅｎ ＨＯＮＧＤｅｂｉｎ ＱＩＵＮａｎｙｕａｎ （ ， ， ， ； １．ＳｃｈｏｏｌｏｆＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ ＳｈａｎｄｏｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ Ｊｉｎａｎ２５０１００ Ｃｈｉｎａ ， ， ， ） ２．ＳｃｈｏｏｌｏｆＰｈｙｓｉｃｓａｎｄＭｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ ＳｈａｎｄｏｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ Ｊｉｎａｎ２５０１００ Ｃｈｉｎａ ： ， ＡｂｓｔｒａｃｔＦｏｒｔｈｅｉｎｓｔａｂｉｌｉｔｙｏｆｍｅｔａｌｏｘｉｄｅｔｈｉｎｆｉｌｍｇａｓｓｅｎｓｏｒｉｎｄｏｐｉｎｇｐｒｏｃｅｓｓａｐｒａｃｔｉｃａｌＺｎＯｔｈｉｎｆｉｌｍ ｇａｓｓｅｎｓｉｎｇｂａｓｉｃｍａｔｅｒｉａｌｗａｓｄｅｖｅｌｏｐｅｄ．ＴｈｅＺｎＯ?１％ＣｅＯｔｈｉｎｆｉｌｍｗａｓｐｒｅｐａｒｅｄｂｙａｄｏｐｔｉｎｇｔｈｅｐｏｗｄｅｒ