薄膜光学模拟软体实习实习2双层抗反射膜实习2双层抗反射膜实验.DOC

實習2 雙層抗反射膜 實驗目的 配合ThinFilmView模擬軟體，分析討論MgF2/TiO2雙層抗反射膜的特性。 實習軟體、儀器 ThinFilmView模擬軟體 實驗原理 單層抗反射效果不佳，起因於可用材料的折射率太高，換言之，就是基板折射率太低，改善 之道可在基板上先鍍一層高折射率膜層，拉高基板的導納值以便滿足最佳抗反射條件；或者是需要較寬廣低反射率波段時，雙層抗反射膜的引用確實有其必要 低折射率基板 QQ膜層 ??????? 垂直入射已知，雙層鍍膜系統的特徵矩陣為 因此，導納值為 反射率為 如欲R = 0，則須滿足 即???? 例如選用玻璃基板nS = 1.52，空氣n0 = 1，若n1 = 1.38 若n1 = 1.65?????????????????????????? 顯然n2 n1才能符合抗反射要求，若是選擇n1 n2的材料則是增反射的狀況。通常，較常見的高折射率材料有??????????? ZrO2 ( n = 2.1 ) TiO2 ( n = 2.2 ~ 2.7 ) ZnS ( n = 2.35 ) 低折射率材料有MgF2 ( n = 1.38 ) CeF2 ( n = 1.63 ) 雙層ARC ??????? 以上述兩組設計為例，，nL = 1.38，nH = 1.7 nL = 1.65，nH = 2.03??????? ??? 結果顯示，兩者均符合在設計波長零反射的要求，但是第二組折射率較高的設計，在兩旁的反射率上升快速，因此，考慮要有較佳的抗反射效果，仍以第一組較低折射率的設計為宜 導納軌跡圖 ??????? 第一組設計的導納軌跡圖，，，nL=1.38，nH=1.7 ??????????????? 單層膜設計，nL=1.38，，??????????????? 雙層膜設計，nL=1.38，nH=1.7輸出結果，如下圖所示 ??????? 雙層QQ抗反射膜設計的效果，就好像是單層抗反射膜設計在設計波長處往下拉至零的結果，所以，除了設計波長附近外，其餘波段的反射率都是雙層設計劣於單層設計 ，?????????????? ??????? 此時特徵矩陣為???????????????? 導納值為 同樣以雙層膜設計，nL=1.38，nH=1.7為例，其反射率光譜特性如下圖所示 由輸出結果得知在設計波長處，反射率與單層鍍膜相同，故稱膜層為具有拓寬低反射率波段的效果，使整個可見光區的反射率比單層鍍膜還低前述 QQ抗反射膜為單一零值的，改成 QH設計將有可能成為雙零值的因為原設計中的 n2值太低，所以，只有極小值而非零值；若想達到零值，可以增加n2值至1.9，其效果為 ? ， ??????? 此時特徵矩陣為???????????????? 導納值為 同樣以雙層膜設計，nL=1.38，nH=1.7為例，其反射率光譜特性如下圖所示 (1) (2) 　 　　 　 以上三種是雙層增反射的光譜輸出，其中請特別注意半波長的效應??????? 以雙層膜設計，nL=1.38，nH=1.7為例，其不同偏振極性的反射率光譜特性如下圖所示 由上圖可知，隨入射角遞增，設計波長處的反射率也遞增，並且往短波長區移動 由上圖可知，P偏振與S偏振的反射率特性呈現相反的動作，隨入射角遞增，設計波長處的反射率也遞減，並且往短波長區移動 實驗步驟 1. 打開ThinFilmView模擬軟體，選按功能表列之 膜名輸入：單層抗反射膜，層數設定為1，按OK 重複上述步驟，膜名輸入：雙層抗反射膜，層數設定為2，按OK 2. 調整雙層抗反射膜的第1層鍍膜材料改為TiO2，按；設定波長曲線圖的y軸最大值格 式，選用自動 3. 變更第1層鍍膜膜厚，使用滑動尺微調，觀察相對應的反射率變化 以上使用滑動尺微調時，發現微調範圍以0.25為中心±0.1，因此調整第一層膜厚為0.1，再使用滑動尺微調第一層與第二層，找出暫時的最佳抗反射設計 4. 重複步驟3，波長範圍400~700nm，找出最佳的雙層抗反射設計 5. 顯示蒸鍍控制曲線圖 6. 顯示顏色計算圖 問題與討論 1. 使用空氣/TiO2/MgF2/基板的設計，模擬可否有最佳雙層抗反射效果？ 2. 說明為何理論的雙層V型抗反射膜設計，其反射光譜不佳？ MgF2(ns=1.38479) TiO2(ns=2.49135) Quartz(ns=1.46233) 空氣/0.336814 (MgF2)/ 0.044112 (TiO2)/基板Quartz 或 空氣/0.163186 (MgF2)/ 0.455888 (TiO2)/基板Quartz 3. 第一層膜厚更改為0.5，即