大口径平面光学元件的数控抛光技术研究.pdfVIP

。¨太学两士学幢论主 馨793120 大口径平面光学元件的数控抛光技术研究 专业：光学 研究生：朱海波 导师：冯国英 摘 要 当今人类正面临能量短缺的危机，而惯性约束核聚变fIcF)是解决这种情 况的有效途径。在ICF高功率激光驱动系统中，所用的大口径光学元件的加工 质量是整个系统中的关键问题之一，高精度的光学元件是提高整个系统的光束 质量的前提，因此高精度、高效率的光学表面加工具有重大的经济价值。本文 系统的研究了计算机控制小磨头抛光方法对ICF驱动系统中的大口径光学元 件进行加工的理论知识以及在此理论基础上的具体工艺流程，所做的工作如 下： 1．本论文对计算机控制光学抛光的技术发展做了一定的调研，对计算机控制光 学抛光目前存在的主要问题作了总结： 2．本论文对光学玻璃抛光的机理做了研究和分析。对于目前的抛光方式，我们 认为机械作用是基本的，化学作用是重要的，而流变现象是存在的。抛光去除 实际上是这三种方式综合作用的结果。对计算机控制数控抛光的基础理论作了 分析，对材料的去除函数和数控抛光的驻留函数作了分析和推导： 3．本论文介绍了AD．i000机床的结构和控制原理和检测设备，并全面吸收和消 化，为进一步实验研究作准备； 4．在磨头悬边情况下，假设工件上的压强为线性分布的，对此种情况下不同悬 边时的压强进行了分析，得出此种假设的压强分布的悬边值不能超过抛光盘直 径的i／4，否则材料不仅不能被去除，还会得到增加。此结论对实际的加：l：过 ∞川太晕确士学住诒立 程具有一定的指导作用。根据Preston方程，主要考虑抛光液浓度对方程中磨 削系数K的影响，对K进行了实验研究，得出在目前实验条件下磨削系数K 的大致范围，为计算机数控抛光模拟作了必要的准备： 5．数控软件的编制。由于设备的原始软件使用起来麻烦，不利于新手的学习和 使用，且处理的精度不高，经过综合考虑：压强、转速、抛光盘所走的路径、 抛光盘大小、偏心等参数，编制了一套模拟程序。经过实验验证，模拟结果与 实际测的结果的PV值偏差不会超过15％。而且根据具体的工件面形情况，可 以进行多次模拟并进行实际加工，再进行实际检测，这样可以减少测量次数， 降低成本，节约时间，提高效率。 通过对计算机数控抛光的研究，我们对数控加工过程的规律有了更清晰 的认识，增加了实际加工的经验，为获得高精度高效率的光学元件作了一定 的准备。但是，光学加工过程是一个复杂的过程，在加工过程中有很多影响 因素和不确定因素，要想做到高精度高效率的光学元件加工，还有待进一步 的工作和大量的实验研究。 关键词 ：数控抛光，ICF驱动系统，大口径光学元件，去除函数，边缘效应 本科题得到中国工程物理研究院与国家自然基金委的联合资助 (NO。 II ∞川太晕领亡学住话支 on controlledof Studycomputer polishing the size largeplaneoptical components Major：optics Postgraduate：ZhuHaibo$upervisor：Feng Guoying Abstract themankindis thecrisisof in is Nowadays facing energyshort，]CFtheeffectiveof