扫描电子显微镜图像质量的因子分析.docVIP

影响扫描电镜图像质量的因素分析 摘 要：本文介绍影响 HYPERLINK /blog/static/165103757201051602543835/ \t _blank 扫描电镜图像质量的因素及其对图像质量的影响，分别从加速电压、扫描速度和信噪比、 HYPERLINK /blog/static/16510375720105121147975/ \t _blank 束斑直径、探针电流、 HYPERLINK /blog/static/16510375720101123112236288/ \t _blank 消像散校正、 HYPERLINK /blog/static/1651037572010111104949559/ \t _blank 工作距离以及 HYPERLINK /blog/static/1651037572010101592614350/ \t _blank 反差对比等分析图像质量的变化原因，提出提高图像质量的方法。关键词: 扫描电子显微镜 SEM 图像质量??????? HYPERLINK /blog/static/1651037572010778495471/ \t _blank 扫描电子显微镜是（Scanning Electron Microscope,SEM）是 HYPERLINK /blog/static/165103757201051053110544/ \t _blank 20 世纪30 年代中期发展起来的一种多功能的电子显微分析仪器。SEM 以其 HYPERLINK /blog/static/165103757201092715822977/ \t _blank 样品制备简单、图像视野大、景深长、图像立体感强，且能接收和分析 HYPERLINK /blog/static/16510375720106110372471/ \t _blank 电子与样品相互作用后产生的大部分信息，因而在科研和工业等各个领域得到广泛应用。?????? 但是扫描电镜是非常精密的仪器，结构复杂，要想得到能充分反映物质形貌、层次清晰、立体感强和分辨率高的高质量图像仍然是一件非常艰难的事情，本文针对工作中出现的问题，分析影响图像质量的因素，讨论如何根据样品选择最佳观察条件。1 加速电压?????? 扫描电镜的电子束是由灯丝通电发热温度升高，当钨丝达到白热化，电子的动能增加到大于阳离子对它的吸引力( 逸出功) 时，电子就逃逸出去。在紧靠灯丝处装上有孔的栅极( 也叫韦氏盖)，灯丝尖处于栅孔中心。栅极上100~1000V 的负电场，使灯丝的电子发射达到一定程度时，不再能继续随温度增加而增加，即达到 HYPERLINK /blog/static/1651037572011511131813/ \t _blank 空间电荷的饱和（这种提法是错误的）。离开栅极一定距离有一个中心有孔的阳极，在阳极和阴极间加有一个很高的正电压称为 HYPERLINK /blog/static/16510375720115710215193/ \t _blank 加速电压[1]，它使电子束加速而获得能量。加速电压的范围在1~30kV，其值越大电子束能量越大，反之亦然。???????加速电压的选用视样品的性质( 含导电性) 和倍率等来选定。当样品导电性好且不易受电子束损伤时可选用高加速电压，这时 HYPERLINK /blog/static/165103757201052623233107/ \t _blank 电子束能量大对样品穿透深（尤其是低原子序数的材料）使材料衬度减小图像分辨率高。但加速电压过高会产生不利因素，电子束对样品的穿透能力增大，在样品中的扩散区也加大，会发射 HYPERLINK /blog/static/165103757201091601458330/ \t _blank 二次电子和散射电子甚至二次电子也被散射，过多的散射电子存在信号里会出现叠加的虚影从而降低分辨率，目前我所用的扫描电子显微镜(TESCAN TS 5136MM) 的加速电压可在1~30kV 内任意调节，采用加速电压1~30 kV（见图1）。 ?????????????图1 分别加速电压为1kV，10kV，30kV 的SEM 像,?????? 当样品导电性差时，又不便喷碳喷金, 还需保存样品原貌的这类样品容易产生 HYPERLINK /blog/static/16510375720101112393597/ \t _blank 充放电效应，样品充电区的微小电位差会造成电子束散开使束斑扩大从而损害分辨率。同时表面负电场对入射电子产生排斥作用，改变电子的入射角，从而使图像不稳定产生移动错位，甚至使表面细节根本无法呈现，加速电压越高这种现象越严重，此时选用低加速电压以