圆度误差测量结果不确定度的评定_张素清.pdfVIP

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圆度误差测量结果不确定度的评定_张素清

   88      《计量与测试技术》2010 年第37 卷第10 期 圆度误差测量结果不确定度的评定 Assessment of Uncertainty in the Result of Measuring Ndication of a Circle Degree 张素清 (包头市产品质量计量检测所, 内蒙古 包头 014030 ) 摘 要:本 探讨了应用三坐标测量机测量圆度误差时其测量结果的不确定度的分析与评定。 在做精密测量时, 测量结果的准确性评价, 国际上推荐 使用测量不确定度作为度量尺度。 为判定测量结果的准确性, 有必要对圆度测量结果进行不确定度的评定。 关键词:不确定度;圆度误差;最小二乘圆 1 测量方法 到 的测 量 列:60.0001, 60.0000, 60.0001, 60.0002, 将被测件放置在三坐标测量机的测量平台上, 在被 60.0001, 60.0001, 60.0001, 60.0000, 60.0001, 60.0001。 测表面的截面上测量6 点, 以最小二乘圆作为基准圆, 其 则实验标准差: 最小二乘圆圆心至轮廓的最大距离R max 和最小距离R min n 2 ∑(Li -L ) 之差为该截面的圆度误差。 S = i=1 =0.0001μm  S =u 13 n -1 最小二乘圆是指在被测实际轮廓之内找出这样的一 2 2 2 2 2 2 2 2 u =u +u +u =1.2 +0.2 +0.0001 =1.48μm 点, 使被测实际轮廓上各点到以该点为圆心所作的圆的 1 11 12 13 径向距离的平方和为最小, 该圆即为最小二乘圆。 u 1 =1.2μm 估计u 的相对不确定度为10 %, 则自由度v =50 2  数学模型 1 1 对被测件进行测量, 得到的圆度误差为y 。 5.2  被测件和光栅尺的热膨胀系数引入的不确定度分 量u2 y =x 式中:y —被测件的圆度误差;x —圆度误差测量结 被测件和光栅尺的膨胀系数差在半宽为 2 × 果。 -6 -1 10 ℃ 的区间内以等概率分布k = 3 3  灵敏系数 -6 -1 -6

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