激光脉宽对光学薄膜元件热损伤的影响-激光与红外.PDF

第４７卷　 第１期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４７，Ｎｏ．１ 　 ２０１７年１月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｊａｎｕａｒｙ，２０１７ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１７）０１００３２０６ ·激光应用技术 · 激光脉宽对光学薄膜元件热损伤的影响 １ １ １ ２ 江修娥 ，王　斌 ，刘　剑 ，张宏超 （１安徽工业大学数理科学与工程学院，安徽 马鞍山２４３０３２；２南京理工大学理学院，江苏 南京２１００９４） 摘　要：纳秒量级及以下脉宽激光致光学薄膜元件的损伤研究持续了几十年，但纳秒量级以上 脉宽却很少提及。因此，针对１０ｎｓ～１ｍｓ量级区间不同脉宽激光辐照光学薄膜元件产生的热 损伤进行了研究，计算了高反膜、增透膜和干涉滤光片三种典型光学薄膜元件的温度场分布， 并分析了其激光热损伤特性。结果表明，对于长脉宽激光，热扩散深度大，薄膜损伤的电场效 应被削弱，热传导效应在损伤中占据主导地位，损伤可至基底；短脉宽激光损伤对薄膜内部的 电场分布更为敏感，损伤发生在温度最高值附近的膜层区域。进而开展了１０ｎｓ与１ｍｓ脉宽 激光致光学薄膜元件的损伤实验，损伤阈值及形貌特征与温度场计算结果显示的热损伤特性 相符。 关键词：激光损伤；光学薄膜；温度场 中图分类号：Ｏ４３７　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１７．０１．００６ Ｅｆｆｅｃｔｏｆｐｕｌｓｅｄｕｒａｔｉｏｎｓｏｎｌａｓｅｒｔｈｅｒｍａｌｄａｍａｇｅｏｆｏｐｔｉｃａｌｔｈｉｎｆｉｌｍｓ １ １ １ ２ ＪＩＡＮＧＸｉｕｅ，ＷＡＮＧＢｉｎ，ＬＩＵＪｉａｎ，ＺＨＡＮＧＨｏｎｇｃｈａｏ （１ＳｃｈｏｏｌｏｆＭａｔｈｅｍａｔｉｃｓａｎｄＰｈｙｓｉｃｓ，ＡｎｈｕｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｍａａｎｓｈａｎ２４３０３２，Ｃｈｉｎａ； ２ＳｃｈｏｏｌｏｆＳｃｉｅｎｃｅ，ＮａｎｊｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｎａｎｊｉｎｇ２１００９４，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｌａｓｅｒｄａｍａｇｅｉｎｏｐｔｉｃａｌｔｈｉｎｆｉｌｍｓｗｉｔｈｐｕｌｓｅｄｕｒａｔｉｏｎｏｆｎａｎｏｓｅｃｏｎｄｏｒｂｅｌｏｗｎａｎｏｓｅｃｏｎｄｈａｓｂｅｅｎ ｓｔｕｄｉｅｄｓｅｖｅｒａｌｄｅｃａｄｅｓ，ｗｈｉｌｅｔｈｅｓｔｕｄｙｗｉｔｈｐｕｌｓｅｄｕｒａｔｉｏｎｌｏｎｇｅｒｔｈａｎｎａｎｏｓｅｃｏｎｄｗａｓｌｉｔｔｌｅｍｅｎｔｉｏｎｅｄＬａｓｅｒｔｈｅｒ ｍａｌｄａｍａｇｅｓｉｎｏｐｔｉｃａｌｔｈｉｎｆｉｌｍｓｗｉｔｈｄｉｆｆｅｒｅｎｔｐｕｌｓｅｄｕｒａｔｉｏｎｓｆｒｏｍｔｅｎｎａｎｏｓｅｃｏｎｄｓｔｏｏｎｅｍｉｌｌｉｓｅｃｏｎｄｗｅｒｅｉｎｖｅｓｔｉ ｇａｔｅｄＴｈｅｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｆｉｅｌｄｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎｓｏｆｈｉｇｈｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ（ＨＲ）ｆｉｌｍ，ａｎｔｉｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ（ＡＲ）ｆｉｌｍａｎｄｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅｆｉｌ ｔｅｒ（ＡＦ）ｗｅｒｅｃａｌｃｕｌａｔｅｄ，ａｎｄｔｈｅｉｒｌａｓｅｒｔｈｅｒｍａｌｄａｍａｇｅｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｗｅｒｅａｎａｌｙｚｅｄＴｈｅｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｅｌｅｃｔｒｉｃ ｆｉｅｌｄｅｆｆｅｃｔｏｆｆｉｌｍｄａｍａｇｅｉｓｗｅａｋｅｎｅｄａｓｔｈｅｒｍａｌｄｉｆｆｕｓｉｏｎｄｅｐｔｈｉｎｃｒｅａｓｅｓｆｏｒｌｏｎｇｐｕｌｓｅｄｕｒａｔｉｏｎｌａｓｅｒ，ａｎｄｈｅａｔｃｏｎ ｄｕｃ