真空泵知识大全概要1.pptVIP

. Vacuum Pump Introduction Vacuum Pump Classifies Dry Pump----------------------- 3 Oil Pump ----------------------- 7 CRYO Pump------------------- 9 Turbo Pump-------------------- 14 Diffusion Pump---------------- 17 The Comparison of Pump--- 20 Dry Pump The Principle Dry Pump是最基本的真空pump，它是利用螺杆原理來工作的，它 主要的特点是可以从大气压下直接开始抽气,所以可以单独使用。 一般真空度要求不高（E-3torr以下），如CVD及furnace仅使用dry pump即可。 The Characteristic Fewer moving parts Higher Reliability Less complexity High speed The Working Principle 氣體從中間進入的優點： 1.縮短了氣體通過pump的路徑，減少了particle的沉積 2.