近代物理实验A2（春季学期）补充实验椭圆偏振仪—薄膜厚度测量一 .PDF

近代物理实验A2 （春季学期）补充实验 椭圆偏振仪—薄膜厚度测量 椭圆偏振测量是一种通过分析偏振光在待测薄膜样品表面反射前后偏振状 态的改变来获得薄膜材料的光学性质和厚度的一种光学方法。椭偏法测量的基本 1  思路是，起偏器产生的线偏振光经取向一定的 波片后成为特殊的椭圆偏振 4 光，把它投射到待测样品表面时，只要起偏器取适当的透光方向，被待测样品表 面反射出来的将是线偏振光。根据偏振光在反射前后的偏振状态变化（包括振幅 和相位的变化），便可以确定样品表面的许多光学特性。 由于椭圆偏振测量术测量精度高，具有非破坏性和非扰动性，该方法被广 泛应用于物理学、化学、材料学、摄影学，生物学以及生物工程等领域。 本实验所用的反射式椭偏仪为通常的PCSA 结构，即偏振光学系统的顺序 为起偏器（Polarizer ）→补偿器（Compensator ）→样品（Sample ）→检偏器 （Analyzer ），然后对其输出进行光电探测。 一．实验原理 1． 反射的偏振光学理论 图1 光在界面上的反射， E 假定 ， （布儒斯特角），则 有 的相位跃变，光在两种 n  n   rs  1 2 1 B 均匀、各向同性介质分界面上的反射如图1 所示，单色平面波以入射角 ，自折 1 射率为 的介质1 射到两种介质的分界面上，介质2 的折射率为 ，折射角 。 n1 n2 2 1 用（Eip ,Eis ），（E rp , E rs ），（Etp ,Ets ）分别表示入射、反射、透射光电矢量的复 p 振幅， 表示平行入射面即纸面的偏振分量、 表示垂直入射面即垂直纸面的偏 s 振分量，每个分量均可以表示为模和幅角的形式 E | E | exp(i ) ，E | E | exp(i ) （1a） ip ip ip is is is E | E | exp(i ) ，E | E | exp(i ) （1b） rp rp rp rs rs rs E | E | exp(i ) ，E | E | exp(i ) （1c） tp tp tp ts ts ts p 定义下列各自 ， 分量的反射和透射系数： s r E / E ，r E / E