钛膜的电解抛光技术研究3-强激光与粒子束.PDF

　第 19 卷 　第 9 期 强 激 光 与 粒 子 束 Vol . 19 ,No . 9 　 　2007 年 9 月 H I GH PO W ER L A SER AND PA R TICL E B EA M S Sep . ,2007 　 文章编号 : 　100 14322 (2007) 钛膜的电解抛光技术研究 1 ,2 1 1 1 1 1 张素银 , 　杜 　凯 , 　邢丕峰 , 　李朝阳 , 　郑凤成 , 　谢 　军 ( 1. 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心, 四川 绵阳 62 1900 ; 2 . 黄河科技学院 数理部 , 郑州 450063) 　　摘 　要 : 　分析了硫酸 、硝酸 、氢氟酸 ;硫酸 、乙酸 、氢氟酸 ; 乙醇 、正丁醇 、氯化锌 、氯化铝 ;高氯酸 、乙酸 ;硫 酸 、甲醇这 5 种不同电解液组成对钛薄膜表面粗糙度 、表面形貌的影响 ,得出硫酸 、甲醇混合溶液是一种较理想 的电解液体系 。设置合适的抛光电压 、温度 、时间、泵速等工艺参数 ,制备出了表面平整光滑 ,平均粗糙度小于 30 nm 的钛膜 。分析了硫酸 、甲醇电解液阳极电压与试样表面减薄速率的关系 :试样的减薄速率开始随电压的 升高而增大 ;当电压达到 28～34 V 时 ,减薄速率随电压变化很慢 ,当电压继续增大时 ,减薄速率又会迅速增大 , 金属膜继续溶解 。 　　关键词 : 　电解液 ; 　电解抛光 ; 　钛膜 ; 　表面粗糙度 ; 　表面形貌 　　中图分类号 : 　O84 . 5 　　　　文献标识码 : 　A 　　钛具有比重小 、热导率小 、热膨胀系数小 、高熔点、耐腐蚀 、无磁性和化学活性高等特点 ,在宇航飞行器 、原 子能发电、工具制造 、医学和化工机械等领域得到广泛的应用[ 12 ] 。钛膜在 ICF 制靶中也起到很重要的作用 。 ( ) 常用的金属薄膜制备方法包括蒸发镀膜 、溅射沉积 、脉冲激光气相沉积 PL D 、电镀 、化学镀等 。上述方法获得 的薄膜密度最高可以达到晶体理论密度的 80 %～90 % , 因此 EO S 实验研究用薄膜通常采用机械研磨 、精密车 削等“去除”加工技术制备[34 ] ,但是这些技术都会使其表面产生残余应力 。电解抛光是一种有效的高质量晶体 密度金属薄膜制备方法[ 57 ] 。 　　电解液组成是影响电解抛光表面粗糙度的重要因素 。一般来讲 , 电解抛光溶液应选择相对粘性的电解质 , 使电流密度较低 ,阳极缓慢溶解 , 以达到抛光效果[ 8 ] 。目前从理论上尚不能确定某种金属或合金的最适宜的电 解液成分 、比例 ,主要通过实验来确定 ,本文主要从电解液组成对电解抛光钛膜的影响进行研究 。 1 　实验部分 1 . 1 　实验材料及仪器 μ 　　钛膜 :西北有色金属研究所制备 ,厚度 50 m ,化学成分列于表 1 。 　　L ect ro Pol5 电解抛光仪 :丹麦 St rue s 公司生产 ,抛光电压 0～100 V ,最大电流 6 A ; CC250 型冷冻油浴 : ( ) 德国 Huber 公司提供 。薄膜的表面粗糙度用 Alp hast ep 500 台阶仪 美国 Tencor 公司