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钢铁材料﹦﹣﹥样品制备工艺研究
第 卷第 期 现代 冶金
40 3 Vol.40 No.3
年 月
2012 6 ModernMetallurgy Jun.2012
钢铁材料﹦﹣﹥样品制备工艺研究
胡显军 吴园园 徐宁安
, ,
江苏沙钢集团有限公司 江苏 张家港
( , 215625)
摘要 以 管线钢和 高碳钢两种样品为例 利用机械抛光 化学抛光 电解抛光及聚焦离子束原位加
: 80 82 , 、 、
X SWRH B
工等方法进行了钢铁材料 样品制备研究 并分析了 种制备方法的优缺点
EBSD , 4 。
关键词 机械抛光 化学抛光 电解抛光
:EBSD; ; ; ;FIB
中图分类号: 11521; 175
TG TG
样品表面形貌观察在 日本电子公司的JSM
7001 型扫描电镜上进行, 观察采用
引 言 F EBSD Oxford
公司的 型电子背散射衍射仪 为保证
Channel5 。 EB
电子 背 散 射 衍 射 ( 结果具有可比性, 实验时扫描电镜和
Electronbackscattered SD EBSD EB
diffraction,简称EBSD)技术是基于扫描电镜中电 SD采集参数均保持一致。
子束在倾斜样品表面激发出并形成的衍射菊池带的
分析 进而确定晶体结构 取向及相关信息的方法
, 、 , 结果分析与讨论
在晶体材料的组织表征和分析中有着重要的作
用[1] 在钢铁材料中 主要应用于物相 组织
。 , 、 机械抛光
EBSD
[2,3] [4] [5]
鉴定 取向分析 微织构分析 晶界分析 晶
、 、 、 、
机械抛光的步骤 用 #金刚石磨盘将样
:(1) 220
粒度测量等 作为一种表面分析技术 所获取
。EBSD ,
品磨抛至表面平整 用 金刚石抛光剂抛光
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