第1讲 薄膜材料简介.ppt

参考书 1.《固体薄膜材料与制备技术》，宁兆元等， 科学出版社 2008年5月第一版 2.《薄膜材料制备原理、技术及应用》，唐伟忠， 冶金出版社 1998年5月第一版，2003年1月第二版 第一讲 薄膜材料简介 薄膜材料的历史 薄膜材料的应用 薄膜技术的研究内容 表面效应 薄膜的结构和缺陷 薄膜材料的历史 构成薄膜的材料 薄膜可以有气体薄膜、液体薄膜，但研究最多、应用最广的是固体薄膜。 薄膜材料的分类 按化学组成分为： 无机膜、有机膜、复合膜； 按相组成分为： 固体薄膜、液体薄膜、气体薄膜、胶体薄膜； 按晶体形态分为： 单晶膜、多晶膜、微晶膜、 纳米晶膜、超晶格膜等。 按薄膜的功能及其应用分为： 光学薄膜：高反/减反涂层、光记录介质、光波导 电学薄膜：绝缘薄膜、导电薄膜、半导体器件 磁学薄膜：磁记录介质 机械薄膜：耐磨涂层（硬质膜、润滑膜 ） 化学薄膜：防氧化或防腐蚀涂层、扩散阻挡层 薄膜材料的定义 利用特殊的技术手段, 人为制得的、其一维尺度显著小于另外两维尺度的、具有特定性能与用途的材料. A thin film is a layer of material with a high surface-to-volume ratio. It is a very thin coating applied to things that we use everyday.? Thin Films can be made of many different materials and can be applied to almost any surface. It is an important and exciting branch of material science. ? 薄膜材料的特点 一般并不是单独存在的 结合了不同材料的不同特性 种类繁多 需要使用特殊的制备与研究方法 薄膜材料的特点 尺寸效应：同块体材料相比，由于薄膜材料的厚度很薄，很容易产生尺寸效应，就是说薄膜材料的物性会受到薄膜厚度的影响。 表面效应：由于薄膜材料的表面积同体积之比很大，所以表面效应很显著，表面能、表面态、表面散射和表面干涉对它的物性影响很大。 在薄膜材料中还包含有大量的表面晶粒间界和缺陷态，对电子输运性能也影响较大。 在基片和薄膜之间还存在有一定的相互作用，因而就会出现薄膜与基片之间的粘附性和附着力问题，以及内应力的问题。 表面效应---表面散射 表面散射 薄膜材料比表面很大，其表面对电子输运现象影响巨大。 沿薄膜表面的电流密度由下式给出 表面效应---电导率降低 可见，随着厚度d的减小，其电导率将明显地降低而偏离块体材料的电导率 。 薄膜表面散射效应还会影响其电阻温度系数、霍尔系数、热电系数等。 表面效应---熔点降低 考虑一半径r的固体球，它熔化时与球外液体间的界面能为 ，熵变为 ，固体密度为 ，熔解热为 L 。当质量为dm的固体熔化成液体后，球的表面积变化为dA，其热力学平衡关系为： （1-3） 对于块状材料，则有 （1-4） 将 代入式（1-3）得到： 可见， ，也就是说小球的熔点低于块材的熔点，并r越小，熔点降得越低。Pb在r=10-7cm时，Tm-Ts=150K。 实验表明，薄膜材料的熔点普遍低于它相应块材的熔点。 薄膜的结构和缺陷 薄膜的的形成包括成核、长大、凝结等过程，其结构与制备工艺条件有关，如气压、流量、功率、温度等参数，薄膜的结构和缺陷远比块体材料复杂。薄膜结构包括三种类型： 组织结构 晶体结构 表面结构 薄膜的组织结构 薄膜的组织结构是指其结晶形态。包括： 1）非晶：也称无定形态或玻璃态，从原子排列情况看，为无序结构。如：基片温度较低时形成的硫化物和卤化物薄膜。 2）多晶：薄膜形成过程中会生成许多岛状小晶粒，这些小晶粒聚结形成的薄膜即为多晶薄膜。晶粒往往有择优取向。 3）单晶：适当条件下，薄膜沿单晶基片的结晶轴