第3章 薄膜制造技术.pptVIP

第三章 薄膜制造技术;教学内容;薄膜的制备方法;两种方法比较;3.1 真空及真空镀膜机; 热蒸发原理;2）. 大气PVD存在的问题;3). 真空PVD的优点;（2）真空与压强;几种压强单位的换算关系;常见的划分为：粗真空，低，高，超高，极高。;（3）PVD所需真空度;2. 真空镀膜机;2. 真空系统;3.2 真空获得与检测;3.2.1 真空泵;(1). 常见真空泵的分类;油封旋片式机械泵;超高真空;3. 旋片式机械泵;2). 工作原理;3)工作过程;4). 性能指标;4. 油扩散泵;1). 结构图;2). 工作原理;A:多级喷嘴“接力”并阻止“反扩散”（气，油）；;3). 性能;5. 罗茨泵;2).罗茨泵的特点;3).结构及工作过程;工作原理 依靠高速运动的物体表面把定向速度传递给入射表面的气体分子，造成泵出口、入口的气体分子正向、反向传输几率的差异而产生抽气作用。（30000转/分）。;优点：无油，洁净，启动快，制动快，可忍受大气冲击。 缺点：由于高速旋转，不能在磁场中使用，否则会产生涡流，导致叶轮发热、变形等严重后果，对氢气等轻质气体抽速较小， 价格昂贵。; 空气中(除H2、He)气体的饱和蒸气的液化点大于4.2k;35; ①.真正的无油真空泵：利用低温冷板来冷凝、吸附气体而获得和保持真空，清洁无污染； ②.抽速快：特别是对H2O、H2等气体抽速很大，因而排气速度比其他真空泵快，大大提高产品产出量； ③.运行费用低：运行时只需电力和冷却水，不需液氮等低温液体，操作简单方便； ④.适应性强：真空腔内无运动部件，来自外界的干扰或来自真空系统的微粒不影响低温泵工作； ⑤.可以安装在任何方位； ⑥.运动部件少且低速运行，寿命长； ⑦.可以达到10-7 Pa的极限真空度，甚至可达10-9 Pa。;机械泵的性能特点： 能直接抽大气或向大气排气。用于低真空场合，抽速较慢。 扩散泵的性能特点： 不能直接抽大气或向大气排气。必须在有水冷的条件下工作。极限真空接近10-7Pa。 罗茨泵的性能特点： 抽速较快，用于低真空场合，不能直接抽大气或向大气排气。 分子泵的性能特点： 不需任何工作液体，属于纯机械运动，极限真空~10-8Pa。不能直接抽大气或向大气排气。 低温冷凝泵的性能特点： 低温冷凝和低温吸附原理。无油，高真空。不能直接抽大气或向大气排气。极限真空~10-8Pa。;3.2.2 PVD高真空系统 ;3.2.2、真空测量;1.热电偶真空计;—低气压（100~10-2）下气体的热传导与压强成正比。;工作时灯丝加热功率一定,加热与散热达到热平衡;能测容器内的真实压强，且能连续测量和能远距离读数；结构简单容易制造；即使气压突然升高也不会烧毁。;2.热阴极电离真空计;3). 原理;热阴极电离真空计的优点： （1）测出的是总压强； （2）反应迅速，可连续读数，可远程控制； （3）电离计就可测量到5х10-5Pa，如改进后可测量到10-7Pa （4）规管小，易于连接到被测量处； （5）电离真空计校准曲线直线范围宽，通常在10-1--10-5 Pa间； （6）对机械振动不敏感； 热阴极电离真空计的缺点： （1）灵敏度与气体种类有关； （2）压强大于10-1Pa时，灯丝易于烧毁；;本节必须明白的问题;薄膜沉积技术;3.4 热蒸发镀膜技术;2.电阻加热蒸发;;电阻热蒸发的优点;2 电子束加热蒸发;三种偏转枪;C型电子枪180o;①电子束焦斑大小可调，位置可控，既方便小坩埚，也方便大坩埚； ②可一枪多坩埚，既易于蒸发工艺的重复稳定，也方便使用多种膜料； ③灯丝易屏蔽保护，不受污染，寿命长；; 电子束加热蒸发特点;优点：设备简单，大多数材料都可以作为膜层材料蒸发。;3.5 溅射;3.5.1 辉光放电溅射;2.直流辉光放电;②辉光放电中的阴极暗区; —— 用于零件同时双面镀膜;4.射频辉光放电;5. 光辉溅射方式比较;3.5.2 磁控溅射; ②柱面磁控溅射;①电场与磁场正交设置，约束电子在靶面近域，致使靶面近域有高密度等离子体，溅射速率很高；;3.5.3 离子束溅射;离子束溅射的特点;3.5.4 离子、靶材与溅射率;与入射离子能量 与入射离子种类 与离子入射角 与靶材（被溅射物质种类）;入射的Ar+离子能量对溅射产额的影响;离子入射角度对溅射产额的影响;入射离子种类对溅射产额的影响;被溅射物种类对溅射产额的影响;膜层在基片上的附着力强； 膜层纯度高： 可同时溅射多种不同成分的合金膜，或化合物。;—兼有热蒸发的高成膜速率和溅射的高能离子轰击膜层的双优效果。;2. 离子镀的特点;3. 离子镀的常见类型;（1）活化反应离子镀(ARE);(2). 空心阴极离子镀（HCD）