万克树《材料分析技术》2.4 XPS.pptVIP

材料分析技术 主讲 东南大学材料科学与工程学院 张耀 材料学院： Room 520 答疑时间：周一上午 zhangyao@ * 第二章 电子束分析 电子分析物理基础 透射电镜 扫描电镜 X射线光电子能谱（XPS） 俄歇电子能谱 小结 目录 前言-电子能谱学 XPS历史背景 基本原理 仪器装置 实验技术与分析方法 在典型领域的研究应用 电子能谱学的定义 电子能谱学可以定义为利用具有一定能量的粒子（光子，电子，离子，中性粒子）轰击特定的样品，研究从样品中释放出来的电子或离子的能量分布和空间分布，从而了解样品的物理化学基本特征的方法。 电子能谱学的研究内容 电子能谱学的应用 主要在表面分析和价态分析方面。可以给出表面的化学组成，原子排列，电子状态等信息。 为什么表面分析？ 由于只有表面处的光电子才能从固体中逸出，因而测得的电子结合能必然反应了表面化学成份的情况。nm量级。 材料科学，物理学，化学，半导体以及环境等方面。 目录 前言-电子能谱学 XPS历史背景 基本原理 仪器装置 实验技术与分析方法 在典型领域的研究应用 发展历史 1905 爱因斯坦建立光电理论解释了光电效应 发展历史 1958年，瑞典Uppsala 大学