万克树《材料分析测试技术》2.1电子分析物理基础.pptVIP

* * 高景深大焦长的优点 对于一定的光源来讲，孔径半角越小，景深越大；。对于电磁透镜来讲，α都很小，一般为10-2~10-3 rad，所以电磁透镜的景深很大，为Df=(200~2000)Δr0；如果电磁透镜的分辨本领是0.1nm，景深20~200nm。 电磁透镜的景深大，对于图像的记录是非常有利的。 同理，电磁透镜的焦深大，对于图像的聚焦操作（尤其是高放大倍数下）是非常有利的。 * 目录 历史背景 电子产生 电子控制：电子光学 电子与固态物质的相互作用 探测器 * 电子与物质作用产生的各种信号 二次电子 俄歇电子 特征能量损失电子 X射线 背散射电子 透射电子 吸收电子 等等 * 电子散射 当一束聚焦电子沿一定方向射入试样内时，在原子的库仑电场作用下，入射电子方向或者速度改变，称为散射 原子对电子的散射分为： 弹性散射：电子只改变方向，能量基本不变 非弹性散射：方向改变，能量减小 * 电子散射 原子对电子的散射分为： 原子核对电子的弹性散射 弹性散射电子的能量等于或接近入射电子的能量，是透射电镜中成像和衍射的基础 原子核对电子的非弹性散射 能量损失转变为X射线，无特征波长，形成连续辐射，影响分析的灵敏度和准确度 核外电子对电子的非弹性散射 单电子激发、等离子激发、声子激发，跃迁 * 单电子激发-二次电子 入射电子和原子的核外电子碰撞，将核外电子激发到空能级或脱离原子核成