热真空环境下二维尺寸视觉测量标定方法研究 - 激光与红外.pdf

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2017-08-21 发布于天津
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第卷第期激光与红外年月文章编号光电技术与系统热真空环境下二维尺寸视觉测量标定方法研究陶力林玉池宋乐陈炎华赵美蓉天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津摘要针对热真空环境条件对视觉测量精度影响的问题提出了一种新的基于像素当量的二维尺寸视觉测量系统实时标定方法该方法采用光刻已知尺寸线条的石英标准件作为测量基准利用一阶微分期望亚像素细分算法和最小二乘拟合可实时获取较高精度的像素当量值从而减小环境误差热真空环境下的实验结果表明该方法可用于热真空环境下二维小尺寸视觉测量的标定关键词热真空环境视觉测量像

第４２卷　第１期　　　　　　　　　　　　　　　激光与红外Ｖｏｌ．４２，Ｎｏ．１　２０１２年１月　　　　　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤＪａｎｕａｒｙ，２０１２　　文章编号：１００１５０７８（２０１２）０１００６３０５ ·光电技术与系统· 热真空环境下二维尺寸视觉测量标定方法研究