光刻机多项式扫描运动轨迹规划算法咨询.pdfVIP

第 24 卷 第 6 期 仪器仪表用户 EIC Vol.24 2017 年 6 月 INSTRUMENTATION 2017 No.6 光刻机多项式扫描运动轨迹规划算法 1 1 2 2 张 良 ，秦祖军 ，张志钢 ，张 霖 (1.桂林电子科技大学 电子工程与自动化学院，广西 桂林 541004； 2. 上海微电子装备（集团）股份有限公司 精密运动工程部，上海 201210) 摘 要：针对于步进扫描投影光刻机提出了一种多项式扫描运动轨迹规划算法。为实现工程中特定的应用场景，在 三阶扫描轨迹算法的基础上设计出多项式扫描运动轨迹规划算法。多项式扫描运动轨迹速度曲线段采用贝塞尔曲线 原理实现。根据给定的动力学约束，以保证最大加速度与最大速度不超限且多项式运动轨迹加、减速段与速度曲线 段位移、速度衔接要求，建立多项式扫描运动轨迹规划的约束基准。依据该基准，推导出多项式扫描运动加、减速 段轨迹拐点公式。由三阶步进运动辅助完成轨迹位移衔接。最后仿真实验证明了该算法的可行性与合理性。 关键词：轨迹规划；多项式扫描运动；步进运动；贝塞尔曲线 DOI:10.3969/j.issn.1671-1041.2017.06.007 中图分类号：TP273 文献标志码：A 文章编号：1671-1041(2017)06-0024-04 Algorithm of Trajectory Planning for Polynomial scanning in Scanner Lithography 1 1 2 2 Zhang Liang , Qin Zujun , Zhang Zhigang , Zhang Lin (1. School of electronic engineering and automation, Guilin University of Electronic Technology, Guangxi, Guilin, 541000, China; 2. Precision Motion Engineering Department, Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) CO.LTD, Shanghai, 201203, China) Abstract: A polynomial scanning trajectory planning algorithm is proposed for stepping scan projection lithography.In order to realize the specific application scene in the project, a polynomial scanning trajectory planning algorithm is designed on the basis of the third - order scanning trajectory algorithm.The velocity curve segment of polynomial scanning trajectory is realized by the Bezier curve principle.Based on system dynamic constraints, several criteria of pol