光场式时栅传感器信号产生与采集的硬件系统设计咨询.pdfVIP

２０１７年 仪 表 技 术 与 传 感 器 ２０１７ 第５期 Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ ａｎｄ Ｓｅｎｓｏｒ Ｎｏ．５ 光场式时栅传感器信号产生与采集的硬件系统设计 １，２ ２ １ ２ ２ 朱 革 ，高 宇 ，付 敏 ，昌 驰 ，许现波 （１．重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心，重庆 ４０００５４； ２．时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室，重庆 ４０００５４） 摘要：针对传统光学位移传感器的制造设备昂贵及时栅传感器中存在的抗电磁干扰能力差、制造 精度不高等问题，设计了一种基于交变光场时空耦合和光刻技术的光场式时栅传感器。 根据光场式时 栅传感器测量系统的要求，利用ＤＤＳ技术生成了光场式时栅的激励信号，并完成了ＬＥＤ光源的驱动电 路设计，得到了时栅的交变光场信号；设计了基于硅光电池的光信号采集及调理电路，获得了一路用于 位移测量的电行波信号。 实验表明：该系统能够稳定工作，在 １０８ ｍｍ 的测量范围内，光场式时栅的测 量精度为±０．５ μｍ。 关键词：精密测量；时栅；交变光场；硬件设计；误差曲线 － － － 中图分类号：ＴＰ２１２ 文献标识码：Ａ 文章编号：１００２ １８４１（２０１７）０５ ０１１６ ０６ Ｈａｒｄｗａｒｅ Ｓｙｓｔｅｍ Ｄｅｓｉｇｎ ｏｆ Ｓｉｇｎａｌ Ｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ ａｎｄ Ａｃｑｕｉｓｉｔｉｏｎ ｏｆ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｆｉｅｌｄ Ｔｙｐｅ Ｔｉｍｅ Ｇｒａｔｉｎｇ Ｓｅｎｓｏｒ １，２ ２ １ ２ ２ ＺＨＵ Ｇｅ ，ＧＡＯ Ｙｕ ，ＦＵ Ｍｉｎ ，ＣＨＡＮＧ Ｃｈｉ ，ＸＵ Ｘｉａｎ⁃ｂｏ （ １．Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｃｅｎｔｅｒ ｏｆ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｔｅｓｔｉｎｇ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ａｎｄ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ，Ｃｈｏｎｇｑｉｎｇ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ， Ｃｈｏｎｇｑｉｎｇ４０００５４，Ｃｈｉｎａ；２．Ｃｈｏｎｇｑｉｎｇ Ｋｅｙ Ｌａｂｏｒａｔｏｒｙ ｏｆ Ｔｉｍｅ⁃ｇｒａｔｉｎｇ Ｓｅｎｓｉｎｇ ａｎｄ Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｔｅｓｔｉｎｇ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｃｈｏｎｇｑｉｎｇ４０００５４，Ｃｈｉｎａ ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎ ｖｉｅｗ ｏｆ ｔｈｅ ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ｏｆ ｔｒａｄｉｔｉｏｎａｌ ｏｐｔｉｃａｌ ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ ｓｅｎｓｏｒ ｗａｓ ｅｘｐｅｎｓｉｖｅ，ａｎｄ ｔｈｅ ｅｘｉｓｔｉｎｇ ｆｉｅｌｄ ｔｙｐｅ ｔｉｍｅｇｒａｔｉｎｇｈａｄｔｈｅｗｅａｋｎｅｓｓｏｆｐｏｏｒａｂｉｌｉｔｙｔｏｒｅｓｉｓｔｅｌｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｉｃｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅａｎｄｌｏｗ ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇｐｒｅｃｉｓｉｏｎ，ｔｈｉｓ ｐａｐｅｒ ｄｅｓｉｇｎｅｄ ａｎｅｗｋｉｎｄｏｆｔｉｍｅｇｒａｔｉｎｇｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｓｅｎｓｏｒｗｈｉｃｈｊｏｉｎｅｄａｌｔｅｒｎａｔｉｎｇｌｉｇｈｔｆｉｅｌｄｔｉｍｅ⁃ｓｐａｃｅｃｏｕｐｌｉｎｇｗｉｔｈｌｉｔｈｏｇ⁃ ｒａｐｈｙ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ．Ａｃｃｏｒｄｉｎｇ ｔｏｔｈｅｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｏｆｔｈｅｏｐｔｉｃａｌｆｉｅｌｄｔｙｐｅｔｉｍｅｇｒａ