PMOS+OTP的器件结构、工作原理以及实现方法.pdfVIP

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2017-07-12 发布于湖北
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PMOS+OTP的器件结构、工作原理以及实现方法.pdf

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PMOS+OTP的器件结构、工作原理以及实现方法.pdf

工艺与制造IPr。cessandFabricati。n PMOS OTP的器件结构、工作原理以及实现方法胡晓明 (上海华力微电子有限公司，上海201203) time 摘要：OTP【one memory)是常见的一种NVM，在有限密度有限性能的嵌 programmable NVM成本昂贵。OTP与入式NVM方面有较多的应用，传统的EEPROM、SONOS、E—Flash CMOS相容的嵌入式NVM技术是当前工业界的成功解决方案，并在诸如模拟技术微调应用中的位元级一直到数据或代码储存的千位元等级取得越来越广泛的应用。其特点在于与CMOS工艺相容，工艺步骤简单、无须额外的光照，成本低廉，可以增强片上系统的功能和灵活性。作者介绍了工业界对于OTP开发的主流类型一利用PMOS来设计OTP的器件结构、基本工作原理。重点分析了在技术研发中遇到的独特的挑战及其解决方案。 Block 关键词：OTP；热载流子；P型MOS—FET；浮栅；选择栅；Silicide 文章编号：1 中图分类号：TN405文献标识码：A 674—2583(201 7)05—0058—06 4 DOI：10．1 674-2583．2017．05．01 9339／j．issn．1 中文引用格式：胡晓明．PMOSOTP的器件结构、工作原理以及实现方法[J】．集成电路应用， 201 7，34(5)：58-63． PMOSOTPDevice and Structure，Work Principle RealizeMethod HU Xiaoming HualiMicroelectronics 201 203，China．) (Shang Corporation，Shanghai Abstract：OTP(onetime anovelNVMwhichiS usedin memory)iS programmable popular Iow andCOStNVM tOtraditionaI density application．Comparing NVM，OTPhas incost．OTPemendedinCMOS obviouslyadvantage fully process．it’Swidely usedfor micro fromseveralbitstokilobits．Inthis focus analogproductadjustment paper．we onPMOSOTP‘Sdevice andrealizemethod．The faced structure，work type pri