色敏传感器及应用.pdfVIP

第 15巷第 1期 山 东 矿 业 学 院 学 报 Vo1．15No．1 1996年 3月 JOURNALOFSHANDONG MINING INSTITUTE Mar．1996 b]一70 色敏传感器及应用 ‘ 陈国强 乔志刚 以 *电“¨ 要 末 阐述 了超结色敏传感嚣及亲戒型奎色色敏传 怠嚣的结构特 点、旃色识 g,lg．删定未鲢 的工 作 原理 关键词 生些 圭垡堕．垂 圭堡 ；三基色旃色 分类号 TM 544．4 邑敏传感器是 由光敏二极管和滤色器掏成 的 新型的半导体光敏元件 ．其核心部件就是光敏二极管 随着徽电子技术的飞速发展 ．制造高智能化的机器人 ，开发具有接近 人知觉 的传感器 ，尤 其替代人的邑调感觉的传感器更感必要。目前具有与人的视觉光谱特性相近的非晶硅光传感 器 ．已在国际上 实用化了 光学知识告诉我们 ．人的眼睛能对 380～780rim 波长范围内的可见光做 出选择性 的反应 ． 从而能看 Il各种颜色，这就是人的颜 邑视觉特性 但人们对各种颜色的分辨能力却存在着很大 差异 ，很难客观的反 映各种物体 的颜 邑。因此研究开发各种不同用途 的测量颜 邑的仪器 ，已为 世 凡所重视 。在这种生产需求的形势下．半导体色敏传感器则应运而生。当今在仪表 电讯及计 算机方面，作为电视图像彩 邑信号分析器、光学符号阅读及机器人的视觉已获得广迂的应用； 在食品、染织 、医疗 、家 电等领域中．用来做为色差管理 、颜 邑识别 、测定读取也 已成为现实 随 着集体型全色彩色敏感器件的不断发展．其应用范围必将会进一步扩展到生产、生活的各个领 域之 中。 1 色敏器件 的结构与工作原理 色敏器件之所 能够识别颜色．其理论基础就是依据光的吸收特性。即当入射到光敏二极 移 管上的光照强度保持一定时．输出的光电流则随入射光的波长的改变而变化 实践告诉我们． 光敏二极管的光谱特性，从PⅣ结表面开始 ．随结的深度而变化 这样 由于光的波长不同 便可 反映出颜 邑的差异 在非晶硅色敏传感器 中．目前 已有三种类型的产品实用化 。即： 可见光传感器：这种传感器是指在整个可 见光范国内部具有灵敏度的全谱传感器 结构示 意图见图 1(A)所示 i · 收稿 日期 ：1994—04·O3 山 东 矿 业 学 院 学 报 第 15卷 非晶硅单 色彩传感器 ：是一种能识别红、绿 、兰等特定颜 色的彩色传感器 。结构示意图见图 1(B)所示 ； 非晶硅集成型全色彩色传感器：这是一种除基色外还能识 0中间颜色的彩色传感器 。结构 由图 1可见，单色彩色传感器是由可见光传感器和特定颜色的滤色器组合而成 ；而集成型 全色彩色传感器则是 由三个非晶硅检测部分和红、绿、兰滤色器制作在一个非晶硅基 片上而构 成一个整体的传感器件 。 --薄1五 E ／，＆ ’ I瑶坞l 托 ． 0也枉 ：透 导 喱 电投 3非 珏 6树 腑海I， 1一 玻璃基板 2一 透 明导电膜 3一 非晶硅 4一 内电援 5一 电楹架 6一树脂荣层 7一 滤色嚣 围 1 非昌硅单色彩色传感器示意图 下面重点介绍双结与全色色敏传感器 的工 作 原理 。 ． 11 双结色敏传感器 1．11 结构特点。这是一种不使用滤色器的双 结塑光伏二极管。其结构是在 同一块硅基片上制 作两个深浅不 同的PN 结构成双结型 的硅光伏 二极管 。结浅的PⅣ结光伏二极管 JPD，主要吸收 短波长的兰光 ，对兰光响应好 ，对红光响应差 ；而