膜基界面结合强度红外激光划痕测量新方法论文.pdfVIP

第11卷第4期 光学精密工程 V01．11No．4 文章编号1004-924X(2003)04—0150—05 膜一基界面结合强度红外激光划痕测量新方法 冯爱新1，谢华锟2，张永康1，蔡兰1，周 明3，范 真1 (1．江苏大学机械工程学院，江苏镇江212013； 2．成都工具研究所，四川成都610056； 3．江苏大学材料学院，江苏镇江212013) 摘要：膜一基界面结合性能是直接关系到膜一基体系最终使用性能和可靠性的关键因素和首要指标。针对划痕法与激光 层裂法测量界面结合性能的研究与应用现状，提出膜一基界面结合强度的红外激光准静态划痕测量新方法。该方法以长 脉冲红外激光非接触加载取代划痕法中的金刚石压头接触加载；以X射线衍射检测诊析技术和椭偏检测诊析技术替代 划痕试验法的声发射检测诊析技术}以长脉冲激光的准静态加载取代激光层裂法的短脉冲高应变率动态加载。红外激 光划痕机理为准静态热力耦合机理，膜基系统的基本失效形式有三种。 关键词：激光测量；薄膜参数测量；界面结合强度；激光划痕法 中图分类号：0484．5文献标识码：A Newmethodforinfraredlaserscratchmeasurementof film-substrateinterfalcialbond strength FENGAi—xinl，XIEHua—kun2，ZHANG Lanl，ZHOU Zhenl Yong—kan91，CAI Min93，FAN Mechanical (1．School of Engineering，JiangsuUniversity，Zhenjian 212013，China； ToolResearch 610056，China； 2．Chengdu Institute，Chengdu Material 3．School 212013，China) of Engineering，JiangsuUniversity，Zhenjiang iS factorand Abstract：Theinterfacialbond betweenfilmandsubstrateoftena strength predominant chief in the and ofafilm-substratenewmethod targetdeterminingperformancereliability system．A forinfraredlaserscratchmeasurementiS tocharacterizeinterfacialbond between presented strength thefilmandthesubstrate，whichcombinesthe oftraditional withla— advantages scratchingtechnique ser hasthe ofnon-contact measuringtec