异质外延结构的失配位错和X射线形貌观察.pdfVIP

异质外延结构的失配位错和 射线形貌观察 罗 江 财 、 、 , 们利用 射 线形貌技术 时 衬 上 延生长的 摘要 我 外 , 结构的失配位错 缺陷进行 了观 和分 也衬 结构进行 了 等 察 析 扭 。 , , 初 观 线形貌相的观 明 衬 的 质外延结构中的失配 位错 主 步 察 封 察表 异 要是在失配应力作用下位 的 曲和滑移所 。 尽管在 层 中 加 入 少量 错 弯 致 磷 , 元 出 作应力补偿 但组成的 四 层 压应 力和张应力 件下 现 了大量失配 在 条 都 。 , 位错 在 衬 上外延生长 双异质结构时 在压应 力和张应力 条 件下也可能 生失配位错。 产 , 二 “ 。 界面之夹角 减小 直 到 时的 、 厚度叫临界厚度办, 位错滑移 到右 边, 这 一 目 吕 , 当 异 延 前 质外 结构在半导体光电器件 、、 已 。 和器 ,, 中业 广泛应用 许多从 材料 件的工 事 方 者, 异 延 晶 匹配 作