Parylene 敷形涂层.PDF

)++0 年第)+ 卷第6 期 ! 电子 机 械 工 程 ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! )++0 1 M81 )+ N81 6 ./)’$%, 4 0)’123’/ .2432))%324 5 * ! ! #$%’(’ 敷形涂层! 吴礼群 ! 江苏 南京)*++ *, ） （南京电子技术研究所， 摘! 要：#$%’(’ 是一种性能优异的高聚合物材料，它能涂敷到各种形状的表面，例如金属、玻璃、纸张、 树脂、塑料、陶瓷等。简述了#$%’(’ 涂层的性能，对#$%’(’ 涂层的沉积过程、沉积设备和#$%’(’ 涂 层的应用领域进行了论述，并对#$%’(’ 涂层的性能与环氧树脂、有机硅树脂、聚氨酯涂层的性能进行 了比较。 关键词： #$%’(’ ；气相沉积；敷形涂层 中图分类号：-.*/0 1 0! ! 文献标识码：2! ! 文章编号：*++3 4 5,++ （)++0 ）+6 4 ++5* 4 +, #$%’(’ 78(98$:# 78#;(= ! #$%’( （!#$ %# ’()(*+, -#).%./.( 01 23(+.*0#%+) 4(+,#0305 ，! !#$ %# )*++ *, ，6,%# ） !#$%’$ ：#$%’(’ # ?8(98$:# @$8;’?;A’ @8%:’$ ?8#;(= :#;’$# B;C’D ;8 B(98$:% @$8;’?; #(% ?8:@8E (’(; B$9#?’ ?8(9=B$#;8( 8( DA’$’ BF;$#;’ B?G # :’;# ，=# ，@#@’$ ，$’( ，@#;? ，?’$#:? ’;?1 -G #$;?’ (;$8DB?’ D’@8;8( @$8?’ 89 @#$%’(’ ，@$8@’$;’ 89 @#$%’(’ ，#@@?#;8( 89 @#$%’(’ #(D @#$%’(’ D’@8;8( ’HB@:’(;1 -G’ @$8@’$;’ #$’ ?8:@#$’D I;G ;G8’ $’@8$;’D 98$ 8;G’$ ?8(98$:# ?8#;(= :#;’$# B?G # ’@8JD’ ，?8(’ ，#(D B$’;G#(’1 ()* +,%-# ：@#$%’(’ ；A#@8$ @G#’ D’@8;8( ；?8(98$:# ?8#;(= +! 引! 言 二甲苯的聚合物，#$%’(’ 是其商品名。它是一种性 能优异的高聚合物材料，不会影响任何被涂敷材料的 当今军事电子设备的发展趋势是体积小、功率大、 性能，因此被美国等国家广泛应用于航空、航天、军事 集成化高，并且可靠性要求高，为保证其能在恶劣的环 电子、微电子、半导体、医疗、文物保护等领域。 境下正常工作，采取必要的防护手段显得非常重要。 #$%’(’ 不吸收可见光，是一种无色透明的薄膜， 军事电子装备中高频零部件的防护一直是一个难点， 可用于光学器件、可擦性光电储存器件和静电复印器 高频部件要求防护涂层不影响或者少影响其在微波范 件。它的耐低温性能也很突出，可用作液氮中使用器 围的工作性