国外微型温差电池的研究动态.pdfVIP

国外微型温差电池的发展 张建中 中国电子科技集团公司第十八研究所，天津 300381 热能转换成电能是化学能转换成电能和光能转换成电能以外最重要的能量转换方式之 一，在科学和技术上都有独特的地位。温差电学（Thermoelectrics ）和温差电技术 (Thermoclectric Engineering )是研究热能与电能直接转换的科学和技术。利用塞贝克效应将 热能直接转换成电能的器件称为温差电池（温差发电器），利用珀尔帖效应将电能直接转换 成热能的器件称为温差电致冷器。人们经常把这两种器件统称为温差电池。 温差电池是可以利用各种热能发电的固态器件，无转动部件，因此结构紧凑、寿命长、 无需维护，一直是被人们看好的一种电源。但是，温差电效应发现 150 多年来，温差电技术 在二十世纪 50 年代末 60 年代初才得到了飞速发展。一方面是半导体的发明是使人们获得了 高性能温差电材料，另一方面是空间技术对电源的需要大大刺激了温差电池的研究工作。60 年代初就有一批温差电池成功地应用于空间、地面和海洋。 1990 年起，温差电技术又遇到了一个好机会，得以蓬勃发展。这主要是环保引起的。 全球范围的温室效应，迫使人们限制和禁用含氟致冷剂。而温差电致冷，它不会对环境造成 污染，因此被人们青睐。又由于电子信息类产品的飞速发展，要求寻求一种方便的冷却方式。 因此，温差电科学和技术又成了热门。 当今世界技术发展的重要趋势是电子产品微型化、集成化。芯片系统（SOC-System on a Chip ）将传感、计算、启动、控制、通讯和电源的功能集成在一个芯片上。当一个子系统可 以集成在一块芯片上时，迫切要求电源也完成微型化革命。遥控、电子器件往往需要高比功 率、高电压、低电流输出的低功率电源。当前，温差电技术也不甘示弱，投入了微型化的滚 滚洪流之中。 最近，美国宇航局（NASA）制订了普鲁米修斯计划，面对将来探索太阳系任务，诸如火 星科学站网络、深空探测机器人、小型飞行器等，开发新的更有效的核电源。该计划要研制 效率更高、重量轻的同位素温差电池。目标是将温差电池的效率和质量比功率翻一番。计划 中提到的重要途径是：开发毫瓦级微型温差电池以及温差电材料低维化，即研究二维量子阱、 一维量子线、零维量子点，构作高效温差电器件【1】。同样，在地面应用中，由于温差电池 可以利用各种形式的热源发电，可为分布式传感器、无人微型飞机等能够适应恶劣环境、长 期工作的无人侦察、监听设备等军事设施供电，也有良好的发展前景。美国国防部高技术预 研局（DARPA）也投入了大量资金用于低维高性能温差电材料的研究。 制作高性能微型温差电池，实际上是将传统的温差电技术和集成电路工艺以及 MEMS 工艺等当代先进的工艺技术结合了起来。本文从温差电材料和器件制作工艺分类出发，将介 1 绍国外微型温差电池的发展，包括块状材料制备的微型温差电池、薄膜温差电池和微米、纳 米温差电池。 1、块状材料制备的微型温差电池 日本精工仪器公司利用微电子工艺已研制出一种依靠人的体温发电的手表用微型温差 电池，温差电元件使用BiTe 基块状材料切割。该电池中温差电元件尺寸为80μm×80μm×600 μm,电池尺寸 2mm×2mm×1.3mm,温差 1 度时产生 20mV 电压，输出功率 1μW。在手表中将 10 个微型温差电池串联起来，为容量 4.5mAh 锂离子蓄电池充电。【2】 近年来，美国 Hi-Z 公司、俄罗斯的 BIAPOS 公司、乌克兰温差电研究所等正在竞相研制 使用放射性同位素 238Pu的微型同位素温差电池。这种电池的输出功率在 1W 以下，输出电压 较高，但体积小、质量轻，可灵活使用在各种空间或地面任务。【3】 Hi-Z 制作的微型温差电池采用粉末冶金法制作的块状 BiTe 基温差电材料。制作过程如 下：先将 p 、n 型温差电材料切成薄片状，用聚酰亚胺按 p-n-p-n 交替粘结在一起，在垂直于 片厚度的方向切成薄片，用聚酰亚胺按 p-n-p-n 交替粘结在一起，在元件长度方向磨平，在 两磨平的端面用掩模法蒸镀金电极将温差电元件串联起来。用这种方法制作的微型温差电换 能器含有几百对细而长的元件。Hi-Z