基于LabVIEW的高精度激光干涉测距系统.pdfVIP

电 子 测 量 技 术 第 卷 第 期 —ؘ˙ ˘……˚ı 　　 　 　 　 　 　 40 4 —ؘ˙ ˘……˚ı —ؘ˙ ˘……˚ı —ؘ˙ ˘……˚ı —ؘ˙ ˘……˚ı —ؘ˙ ˘……˚ı —ؘ˙ ˘……˚ı —ؘ˙ ˘……˚ı —ؘ˙ ˘……˚ı —ؘ˙ ˘……˚ı —ؘ˙ ˘……˚ı —ؘؗ˜˙˙ ˘˘…………˚ı˚ı 年 月 　　ELECTRONIC MEASUREMENT TECHNOLOGY 2017 4 　 基于LabVIEW 的高精度激光干涉测距系统 1 1 2 严 瑾 李 筠 杨海马 　 　 　 　 ( 上海理工大学光电信息与计算机工程学院 上海 ; 中国科学院上海技术物理研究所 上海 ) 1. 　 　200093 2. 　 　200083 : , 。 摘 要 微位移和直线度误差作为工业测量中重要的几何参数 其测量值对精密仪器的制造与检测有着广泛应用 　 , , 、 、 , 但随着工业技术发展 就传统测量仪器自准直仪而言 存在精度不高 实时性不强 速度慢等缺点 无法完全满足当下 、 、 , , 高速 高精度 实时监测的的要求 提出一种基于 LabVIEW 的高精度激光干涉测距系统 对位移位置和直线度进行测 。 , , , 量与分析 基于双频激光干涉测距原理 设计了光电测距仪测量得到带位移信号的光信号 经光电转换得到电信号 。 , , 利用 LabVIEW平台编写操作界面和数据处理与误差分析 对系统进行实验 表明对长度 30cm导轨检测 相对误差 , 、 、 , 、 , 小于0.2nm 系统具有结构简单 测量速度快 实时性强等优点 实现了位移与直线度的大范围 高精度的测量 可被 在工业位移测量中广泛使用。 : ; ; ; 关键词 激光干涉 位移测量 直线度 LabVIEW 中图分类号: ; 文献标识码: 国家标准学科分类代码: TP311.1 TN249　　 A　　 510.4030 Hih-recisionlaserinterferometricdislacementmeasurement g p p sstembasedonLabVIEW y