玻璃浆料键合中的孔洞抑制和微复合调控 - 光学精密工程.pdf

第 卷 第 期 光学精密工程 棽棿 暋 棿 暋 斨旓旍棶棽棿暋斘旓棶棿 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椂 棿 暋 暋 暋 斄 旘棶棽棸棻椂 旔 文章编号 棬 棭 棸椄 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椂棸棿灢棸椃椄棸灢 玻璃浆料键合中的孔洞抑制和微复合调控 灣 棳 棳 棳 刘益芳 王凌云 孙道恒 郑建毅 棬 棳 棭 厦门大学航空航天学院 福建厦门 棾椂棻棸棸椀 椇 棳 摘要 提出了包含三步式排泡过程的预烧结工艺以及双凹凼 凸台的微复合键合结构方案 以便有效控制玻璃浆料层中 灢 暎 暍 棳 的孔洞生成并精确控制键合间隙 预烧结工艺涉及的三步式排泡包含玻璃液形成 真空排泡与孔洞流平 个过程 该过 棾 棳 棳 暎 程有效地排除了气泡 从而抑制了键合中间层中的孔洞形成 其工艺的重复性和鲁棒性很强 微复合键合结构中的内外 棳 椈 凹凼用于有效控制多余的熔融的玻璃浆料的流动路径 避免其对封装结构的污染 微阻挡凸台则可以精确地将玻璃浆料 暎 棳 棳 棳 层的厚度即键合间隙控制到凸台高度 对键合性能的测试表明 该方案简单有效 键合强度和气密性良好 键合间隙为 棴椆 棾 棳 棳 棻棸棶棻 旐 键合强度为 棻椆棶棸椃斖斝斸键合漏率小于 椀暳棻棸 暏 棷暎 毺 斝斸 旐 旙 椇 椈 椈 椈 椈 关 键 词 玻璃浆料键合 孔洞抑制 微复合调控 键合间隙 微复合键合结构 暋 暋 中图分类号椇 文献标识码椇 椇 棷 斣斅椃椀椂暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻椂棽棿棸棿棶棸椃椄棸 斨旓旈斾旙旛 旘斿旙旙旈旓旑斸旑斾旐旈斻旘旓斻旓旐 旓旙旈旚斿旘斿旛旍斸旚旈旓旑旈旑 旍斸旙旙旀旘旈旚斺旓旑斾旈旑 旔旔 旔 旂 旂 旂 灣 斕斏斦斮旈灢旀斸旑 棳 棳 棳