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玻璃浆料键合中的孔洞抑制和微复合调控 - 光学精密工程
第 卷 第 期 光学精密工程
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年 月 旔 旂 旂
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文章编号 棬 棭 棸椄
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玻璃浆料键合中的孔洞抑制和微复合调控
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刘益芳 王凌云 孙道恒 郑建毅
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厦门大学航空航天学院 福建厦门 棾椂棻棸棸椀
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摘要 提出了包含三步式排泡过程的预烧结工艺以及双凹凼 凸台的微复合键合结构方案 以便有效控制玻璃浆料层中
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的孔洞生成并精确控制键合间隙 预烧结工艺涉及的三步式排泡包含玻璃液形成 真空排泡与孔洞流平 个过程 该过
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程有效地排除了气泡 从而抑制了键合中间层中的孔洞形成 其工艺的重复性和鲁棒性很强 微复合键合结构中的内外
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凹凼用于有效控制多余的熔融的玻璃浆料的流动路径 避免其对封装结构的污染 微阻挡凸台则可以精确地将玻璃浆料
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层的厚度即键合间隙控制到凸台高度 对键合性能的测试表明 该方案简单有效 键合强度和气密性良好 键合间隙为
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关 键 词 玻璃浆料键合 孔洞抑制 微复合调控 键合间隙 微复合键合结构
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中图分类号椇 文献标识码椇 椇 棷
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