环境风险分析专章 - 信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限 .pdf

中芯国际集成电路制造（深圳）有限公司 12 英寸集成电路生产线项目（F16） 环境影响报告表 环境风险分析专章 （脱密本） 1.环境风险分析专章 环境风险评价的目的是分析和预测建设项目存在的潜在危险，建设项目建设 和运行期间发生的突发性事件，有毒有害和易燃易爆等物质的泄漏，所造成的人 身安全与环境影响，提出合理可行的防范、应急措施，以使事故率、损失达到可 接受水平。 ( ) 环境风险评价应把事故引起厂 场 界外人群的伤害、环境质量的恶化及对生 态系统影响的预测和防护作为评价工作重点。因此本评价把有毒有害物质的泄漏 对厂界外的环境影响，对人群的健康影响作为本评价的重点。 本章节主要通过对主要风险源识别，分析可能造成的影响程度，提出应急与 缓解措施，使项目的风险事故影响达到可接受水平。 1.1 风险识别 大规模集成电路的生产过程中需使用多种特殊气体和化学品。特殊气体可分 / 为惰性气体、腐蚀性气体、易燃 有害性气体和烷类气体；化学品主要包括有刻 蚀液、光阻、去光阻剂、显影剂等混合溶液，以及氢氟酸、硝酸、盐酸、硫酸等， 这些化学品在运输、储存、使用过程中具有一定的环境风险。 此外，厂区内设大宗气体站，负责供应本项目所需的大宗气体 H2 、N2 、O2 及 Ar 等。该大宗气体站由专业气体公司在项目建设地内建设，根据使用量现场 制备并通过管道直接输送至生产车间，不在本次评价范围内。 1.1.1 物质的风险识别 依据《危险货物品名表》（GB12268-2012 ）以及《危险化学品重大危险源辨识》 （GB18218-2009 ）可知，本项目在生产过程中涉及的主要有毒有害化学品情况见下 表。 略 各类化学品均以卡车运输到化学品库，并用搬运车将化学品运至各贮存库， 按照危险化学品和一般化学品分别储存。项目用特殊气体经管道输送至各生产工 序。氢气、氮气由气体公司直接通过管道输至各工序。 表中的有毒有害化学品按危害特性可分为：易燃物质、有毒物质、氧化性物 质和腐蚀性物质。各化学品详细物化特性见上表。 2  （1）易燃物质 主要包括：异丙醇、丙酮、乙烯、硅烷、二氯乙烯、四乙羟基硅、八甲基环 四硅氧烷、三乙羟基硼酸、丙烯、乙二醇、光刻胶、光刻胶稀释剂、粘附促进剂 （HMDS ）等。 2 （）有毒物质 主要为氯气、氨、磷烷、砷烷、三氟化硼、氯化氢、氟化氢、溴化氢、四氟 化硅、氟气、一氧化碳等。 3 （）氧化性物质 主要为 H O 和一氧化二氮。 2 2 4 （）腐蚀性物质 主要为显影液、硝酸、氢氟酸、磷酸、盐酸、硫酸、氨水等。 1.1.2 生产设施风险识别 1.1.2.1 储运风险分析 本项目使用的危险气体或液体如果储存及运输不当，极易造成风险事故。 （1）易燃气体、液体在储存过程中管理不当或储存方式不符合规定要求， 会引起火灾、爆炸事故； （2 ）易燃气体、液体在储存过程中若泄漏，达到一定的爆炸限值或遇高温、 明火等将引起火灾、爆炸事故； （3 ）有毒气体在储存过程中若泄漏，一方面将污染环境，同时影响人体健 康，甚至造成人员伤亡；另一方面有毒气体、液体泄漏与空气混合至一