半导体制造中多组合设备的Petri网建模及死锁分析.pdfVIP

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2017-07-16 发布于北京
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半导体制造中多组合设备的Petri网建模及死锁分析.pdf

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V01．40 第40卷增刊(Ⅱ) 东南大学学报(自然科学版) Sup(Ⅱ) JOURNALoF Science Nov．2010 2010年11月 sOI糯ASTUNIVERs丌Y(NatumlEdition) 半导体制造中多组合设备的Petri网建模及死锁分析朱清华1’2 伍乃骐1 滕少华2 (1广东工业大学机电T程学院，广州510006) (2广东工业大学计算机学院，广州510006) 摘要：在半导体晶圆加工中必须保证组合设备运行时不存在死锁，为此，建立了多组合设备的模型并研究了无死锁运行问题．首先介绍了多组合设备的结构特征，用面向资源Petri网对它的结构建模；然后，在模型中引入了着色令牌和受控变迁，能很好地描述多组合设备加工晶圆的过程．此模型结构紧凑简洁，能分析加工过程中的稳态、初始暂态和趋停暂态阶段；同时分析了初始暂态阶段如何过渡到稳态阶段．最后，分析了模型的活性等动态行为，提出了避免死锁的控制策略．结果表明如果应用控制策略，多组合设备系统能无死锁运行，有助于对多组合设备进行调度．关键词：多组合设备；晶圆加工；建模；Petri网；死锁控制中图分类号：TP278文献标识码：A 文章编号：100l一0505(2010)增刊(Ⅱ)旬267彤 of tools Petrinet anddeadlock multicluster modeling analysis in semiconductor manufacturing zhu wu shaohua2 Qjn曲ual’2 NajqilTeng SchoolofMecha仃onics (1 Univers时of慨hnology，Gu扑gzh伽510006，china) Engi∞ering．Gu柚gdong of (2school uIIiversity 510006，Chi∞) co呷utcr，G啪gdongof融hnology，GuaIIgzIIou of clusteI。tool wafer isesSentialforthe a insernjconductor Abstmct：Deadlock—f慨domoperation conductsa of multiclustertools of maIlufactIldng．Thispaper smdymodeling aIld锄alysisaVoiding deadlock．Aftertlles仇lcmralch孤粥teristicsofmulticlusterresource·orient耐Petri presenting tools，a for ofmuhicluster col— me