四技光电三A 光电半导体分组报告.PDF

四技光電三四技光電三A 四技光電三四技光電三 光電半導體光電半導體 分組報告分組報告 光電半導體光電半導體 分組報告分組報告 主題主題 ：：磊晶成長磊晶成長 主題主題 ：：磊晶成長磊晶成長 指導老師指導老師 ：：蔡夢華蔡夢華 助理教授助理教授 報告人 ：第三組黃冠翔 4970B048 黃國棠 4980B001 蘇慶倫 4980B003 楊佳諶 4980B004 宋綱祥 4980B005 了解 磊晶磊晶 (Epitaxy) 磊晶磊晶 ․何為磊晶? ＊從字義上來看是源自於希臘的兩 個字 ＊ epi:在某物之上 ＊ taxies:安排好的 ，有秩序的 ＊磊晶製程是在單晶片 上長一層薄 的單晶層 了解 磊晶磊晶 (Epitaxy) 磊晶磊晶 ․磊晶目的? ＊源自於雙載子電晶體的載體層 --在高集極崩潰電壓時用來降低集極電阻 ＊比晶圓晶體有較低的氧碳濃度 所以可增強動態隨機記憶體 (DRAM) 互補型金氧半電晶體積體電路(CMOS IC) 的性能 了解 磊晶磊晶 (Epitaxy) 磊晶磊晶 ․磊晶應用? ~矽磊晶層在雙載子電晶體的應用 ~ 射極 基極 集極 Al•Cu•Si(鋁.銅.矽) SiOSiO 2 (二氧 + + p+ n p n p+ 化矽) N型磊晶層 電子流 n+ 深埋層 P型晶片 ↑本圖轉用自歐亞書局出版半導體製程技術導論 P106 圖4.19(a) 了解 磊晶磊晶 (Epitaxy) 磊晶磊晶 ․磊晶應用? ~矽磊晶層在CMOS的應用 ~ 金屬1, Al•Cu W BPSG + + + + STI n n USG p p P型井區 N型井區 P型磊晶矽 P型晶圓