四探针Mapping 自动测试仪中电阻率温度系数的规范化拟合多项式的.PDF

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2017-08-05 发布于天津
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四探针Mapping 自动测试仪中电阻率温度系数的规范化拟合多项式的

第 8 期电　　子　　学　　报 Vol . 33 　No . 8 　2005 年 8 月 ACTA ELECTRONICA SINICA Aug. 　2005 　四探针 Mapping 自动测试仪中电阻率温度系数的规范化拟合多项式的应用 1 2 1 1 1 孙以材 ,孟庆浩 ,宫云梅 ,赵卫萍 ,武建平 ( 1 河北工业大学微电子所 ,天津 300130 ;2 天津大学自动化学院 ,天津 300072) ( ) 　　摘　要 : 　本文回顾了单晶硅及扩散硅的电阻率温度系数 TCR 的实验结果 ,认为美国ASTM 的 TCR 曲线是比较完整 ,确切的. 利用我们开发的规范化多项式拟合方法 ,可将它表示成五阶多项式. 将它存入具图像识别四探针定位功能自动测试系统的计算机中后 ,可以立即得到折合到 23 ℃的硅单晶断面的电阻率分布. 本文阐述了规范化拟合的原理 ,给出了单晶硅的 TCR 的拟合结果. 关键词 : 　半导体材料电阻率温度系数 ; 电阻率分布 ; 规范化多项式拟合 ; 非线性函数中图分类号 : 　TN325 　　　文献标识码 : 　A 　　　文章编号 : (2005) An Application of Normaliz e d Matching Polyno mial s of TCR to Auto matic Mapping In strument with FourPoint Probe 1 2 1 1 1 SUN Yicai ,MEN G Qinghao , GON G Yunmei ,ZHAO Weiping ,WU Jianping ( 1Hebei University of Technology , Microelectronics Institute , Tianj in 300130 , China ; ) 2 Tianj in University , A utomation College , Tianj in 300072 , China Ab stract : 　It was recalled to the experimental results about TCR for monoc