ESD 上课的心得.PPT

MegaWin 1 26 ESD 專題報告 什麼是靜電 ? 原因 : 剝離、摩擦、感應…. ? 機制 : 物質因失去或得到電子而帶電 影 響 摩 擦 生 電 電 量 的 因 素 材料的影響 ?正(Positive) ? 空氣 ? 人手 ? 玻璃 ? 毛髮 ? 石英 ? 尼龍 ? 羊毛 ? 絲綢 ? 鋁 ? 紙 ? 棉 典型的 ESD電壓 溫度：21℃ 隱 藏 的 危 險 =靜 電 放 電 ? 原因 : 電位不同物體間的電荷移轉 不一定伴隨有電弧或火花發生 ? 一般人體可以感受到的靜電電壓約為 3 k v以上 ; 當靜電電壓低於此值時 , 許多半導體元件依舊非常容易受到靜電放電而致損壞 ESD 對 IC 的威脅 人體 .. 直接充電或放電° * 電壓範圍 : 數百伏特到30KV 機器 .. 裝配 , 測試 , 蓋印及機械手臂 環境 .. 運輸 , 儲存 , 製造及使用 * 電壓範圍 : 數千伏特° 靜電放電的模型 # 人體帶電模型 ( Human Body Model , HBM )------(2kv) # 機器帶電模型( Machine Model , MM ) (測試機台,自動插件機,SMT機台)------ -------(200V) # 元件帶電模型( Charged Device Model , CDM )------(1KV) 元件帶電模型( CDM ) ● 現代自動化組裝之製造環境中最重要 的ESD模型。造成ESD故障的主要原因 ● CDM Event 的來源 測試機台,自動插件,IC的包裝及運送過 程產生) 1. 在 1ns (毫微秒)內電流可上升到15A(1KV) ，放電時間在 10 ns 以下。 2. 在高頻時、電容幾乎可以視為短路，因此CDM 電流會由Gate Oxide 放電。 電子元件 ESD 故障之構因 功率相關：熱崩潰、金屬熔融…… 電壓相關：介電質崩潰…… 潛在性故障：功能劣化…… (閘極退化、保護電路損害、放電抑制、PN接面退化、間歇性的失效) ESDS元件敏感等級--- HBM ESD STM5.1-1998 EIA/JESD22-A114-B:2000 Class Voltage Range Class 0 250V Class 1A 250V ~ 500V Class 1B 500V ~ 1000V Class 1C 1000V ~ 2000V Class 2 2000V ~ 4000V Class 3A 4000V ~ 8000V Class 3B ≧8000V ESDS元件敏感等級--- MM ESD STM5.2-1999 EIA/JESD22-A115-A:1997 Class Voltage Range Class M1(A) 200V Class M2(B) 200V ~ 400V Class M3(C) ≧400V ESDS元件敏感等級--- CDM ESD STM5.3.1-1999 Class Voltage Range Class C1 125V Class C2 125V ~ 250V Class C3