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三维光学轮廓仪MODEL 7503 - 致茂电子
三維光學輪廓儀
MODEL 7503
特點:
階高量測解析度可達0.1 nm
使用白光干涉量測技術 ，非破壞性 、快速
表面形貌量測與分析
模組化設計可依量測需求及預算考量進行
各部件選配
可搭配彩色或單色相機進行2D量測 ，
使系統亦具備工具顯微鏡量測功能
搭載電動鼻輪 ，可同時掛載多種物鏡
並程式化控制切換使用
可選擇LED光源或是鹵素光源
量測範圍可涵蓋150 mm x 150 mm
整合低倍率物鏡(5X與2.5X倍率) ，可進行
大面積3D量測
提供多種表面參數量測功能 ，如斷差高度 、
夾角 、面積 、體積 、粗度 、起伏 、薄膜厚度
及平整度
具備暗點以及邊界錯誤問題修正功能
MODEL 7503 友善的人機介面 ，簡單的圖形化控制系統
及3D圖型顯示
C hro ma 7503三維光學輪廓儀乃利用掃描白光干涉 發3D Prof iler Master量測軟體 ，並搭配Chroma干涉
技術 ，透過精密的掃描系統以及創新演算法進行微 訊號處理演算法來分析白光干涉圖譜 ，可將邊界錯 可交換式的檔案格式 ，可儲存與讀取數種
奈米結構物表面輪廓的量測與分析 。依據需求搭配 誤問題予以避免。此外 ，系統亦搭載C hroma的暗點
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