子包2：电阻热蒸镀膜仪1 套1.PDF

附件： 子包2：电阻热蒸镀膜仪1 套 1、电阻热蒸镀膜仪基本技术要求（从验收合格之后算起，保修一年）： －5 （1）沉积室极限真空：极限真空5×10 Pa. （2）可以实现自动沉积，而且30nm 以下比较均。。 （3）膜厚控制仪厚度分辨率(50个样品平均)：0.002 埃/测量，速率分辨率 （不平均）：0.0133 埃/秒；（膜厚控制仪国际知名品牌）。 －4 （4）沉积室抽速从大气状态开始在30 分钟内，真空度小于5.0×10 Pa。 （5）泵的声音小，分子泵抽速在650-800L/s 之间（分子泵保修2 年），涡 旋干式泵大于等于8L/s(国内知名品牌)。 （6）样品台可以旋转升降。 （7）电源输出电流稳定，100A 是输出电流波动在0.5%以下（电源是国际知 名品牌）。 （8）占地面积小于2 平方米。 （9）带冷却循环水。 （10）对膜的质量要求很高，验收时，需要对不同厚度贵金属膜和有机物半 导体进行测量（验收厚度为：10 纳米，100 纳米，1 微米，5 微米，10 微米）， 请提供常用贵金属Au、Pt 和Ag 丝各20g （纯度99.99%），常用有机物半导体(并 五苯20g，纯度＞98%和酞菁铜(II) 20g 纯度＞98%)，其中常用有机物半导体为 国际知名品牌。 （11）一般不需安装气路。如确实需要安装气路，供应商须免费赠送150m 的不锈钢管 （具体情况，由采购人决定）。 （12）膜厚仪要求： 1）厚度分辨率（不平均）：0.0133 埃/测量； 2）速率分辨率（不平均）：0.0133 埃/秒； 3）厚度分辨率(50个样品平均)：0.002 埃/测量； 4）速率分辨率（50 个样品平均）：0.02 埃/秒； 5）膜厚控制仪的振荡器容易坏，最好配1 个备用，最好也配晶振片2 盒。 （13）免费现场培训学生5-6 人，2-3 天。 1 2、配置清单及要求： 序号 名称 技术参数 数量 1 高真空不锈钢腔室 约Φ350mm×480mm 1 套 2 观察窗及法兰 含铅玻璃，不锈钢法兰 1 套 3 腔室照明 LED 灯5W 5 只 4 旋转基片工装 30×30mm 或者100＊100mm 1 套 5 旋转速电机及电源 工作电压稳定 1 套 6 基片台加热系统 室温至300℃可调可控 1 套 对腔体清洗干净，确保无污染（验收时会 7 等离子清洗系统 1 套 拉曼检测样品有无污染物） 8 温度测量、控制系统 温度控制器，PID 控温、可调可控 1 套 9 陶封电极 CF35 四芯 1 套