扩散硅压力传感器自动测试补偿系统设计.PDF

第 8 期 仪表技术与传感器 　　　 45 扩散硅压力传感器自动测试补偿系统设计 李文卓 　葛 　军 　于云霞 石油大学 　山东省东营市 　257062 　　【摘要】采用“一桥两测”技术 , 以微机为核心设计了扩散硅压力传感器的自 动测试补偿系统 ,并编制了相应的软件。 叙词 :一桥两测 　扩散硅压力传感器 　补偿 Automatic Test and Compensation System Design of Diffusion Silicon Pressure Sensor Li Wen zhuo , Ge Jun ,and Yu Yunxia Petroleum University ,Dongying ,257062 ,shandong. 　　Abstract :This paper introduces an automatic test and compensation system of diffusion silicon pressure sensor , this system uses the technology of ”One Bridge Two Tests”and micro - computer ,its software has been finished. Key Words :One Bridge Two Test ,Diffusion Silicon Pressure Sensor ,Compensation 　　扩散硅压力传感器的温度特性很差 ,必 根据具体情况 ,我们选用了 IBM586 做为 须加以补偿才能使用 ,而补偿方案及补偿系 我们补偿测试系统的中心计算机 ,采用智能多 统的好坏不仅直接影响着传感器的精度 ,而 用数字万用表 8840A 、ZDK - 85 智能多路开 且还是影响传感器生产总成本的因素之一。 关、YU - 60 活塞式压力计及 KF - 4 和 LB801 传感器的生产成本较之进行误差补偿的所必 型恒温箱等组成自动测试系统的硬件系统。 需的测试费用可能要低的多。为实现扩散硅 压力传感器采用 1mA 恒流源供电 ,这样 压力传感器的误差补偿 ,我们根据多维最小 做的好处是 ,测量压力的传感器电桥不仅可 二乘曲面拟合的群特性理论 ,并采用“一桥两 以测量压力的大小,而且可以反映温度的高 测”技术 ,完成了实验室用高精度测试补偿系 低 ,这就是“一桥两测”技术。采用这种技术 , 统设计 ,并编制了相应的应用软件。 不仅可以省去测温电阻 ,避免压力传感器与 一、系统的硬件设计 温度传感器的温度差误差 ,提高传感器测量 扩散硅传感器的测试补偿系统必须将补 精度 ,而且还可以大大缩短传感器在测试过 偿所用的各个温度压力点上的各路模拟量信 程中的恒温时间 ,大大节省测试费用 ,降低生 号转换为数字量信号 ,然后送入系统计算机 产成本。以往 ,测量一个温度点一般需要恒 内建立动态数据文件,待所有点的数据测试 温达 4h 以上,在使硅杯膜片达到预定温度 , 完毕后 ,采用多维最小二乘曲面拟合的群特 并与补偿电阻的温度相一致 ,从 - 30 ～80 ℃ 性理论 ,计算该传感器的特征系数 ,并打印输