28 培植卓越奈米人才之奈米材料制备与检测分析领域执行单位.pdf

計畫名稱： 2.8培植卓越奈米人才之奈米材料製備與檢測分析領域 執行單位：應用科學系奈米科學組 計畫主持人：林志明 共同主持人：杒明進、貝瑞祥 聯絡人：林志明（分機：2734 ） 一、計畫簡介 1.實驗室儀器設備之完善維護與管理：維護與管理本組教學實驗室，包括普通物理實驗 室、電子學實驗室、真空鍍膜實驗室、奈米光學教學實驗室、光電實驗室、原子層 沉積設備實驗室、普通化學實驗室、儀器分析實驗室，維護其中所安置的儀器設備， 並充實每一年度所需的實驗器材、耗材、儀器維修等，使實驗室維持正常運作。 2.教學研究設備添購：為配合本組課程結構、實驗課程內容、研究方向，與產業發展趨 勢，亟需必要之儀器設備，以提供學生足夠實作機會。本計畫擬增購粉碎機、烘箱、 加壓釜、精密三段式 1500oC管狀高溫爐等。 3培植卓越奈米人才之奈米材料製備與檢測分析課程教學：本組於轉型後，著重以培植. 卓越奈米人才之奈米材料製備與檢測分析之理論教學與實作為教學與研究特色，所 規劃之相關課程包括普通物理實驗、普通化學實驗、電子學實驗、奈米科學導論、 真空技術、材料科學導論、光譜學量測技術、奈米科技講座、加速器科技與應用簡 介、生活科技概論(通識) 、自然科學概論(通識) 、奈米專題討論(I)(碩 ) 、奈米專題討 論 (II)(碩 ) 、材料實驗方法碩( ) 、奈米科學專題研究(I)(碩 ) 、奈米科學專題研究(II)(碩 ) 、 半導體物理碩( ) 、物理教具製作暑教碩班( ) 、分析化學實驗、儀器分析實驗與學士專 題等科目之實驗課程。所有儀器設備之採購將配合開設課程與相關教學研究所需。 二、實施情形 1.針對本系學生能有效銜接職涯進路，對未來的方向亦有更清楚的藍圖，同時做出更具 體的規劃，參觀矽碁科技有限公司。 (1時間：) 99 年12月 30日。 (2)地點：矽碁科技有限公司。 (3)對象：應科系大一到大四學生（約40名）。 照片一 ：矽碁科技有限公司講解儀器如何使 照片二 ：廠房內合影情形 用情形 58 2.矽晶圓切割實做與說明：近年來由於國內半導體相關產業的蓬勃發展，已成 為國內競 爭力最強大的產業，此次活動主要目的讓同學體驗到矽晶圓切割整個流程並了解何 爲奈米，實際動手操作，選用單晶矽是目前世界上半導體產業中使用最普遍的材料， 從中了解為了減少成本、提高產量以及產品的良率相關技術的研發是十分必要的 。 從 切割矽晶片中，讓學生了解如何切割方式，能用最節省方式，充分利用矽晶片的 面積得到最多切割片數。 (1時間：) 100 年01月 13日。 (2)地點：4304 光電實驗室。 (3)對象：應科系大一到研二學生（約20名）。 照片三 ：切割矽晶圓活動之情形 照片四 ：同學實際操作切割矽晶圓情形 3.矽晶圓清洗實做與解說：晶片製程之關鍵製程需求之一為矽晶圓表面潔淨的效果，在 清洗矽晶片實驗中，需要耐心仔細的經過清洗流程，更對晶圓表面的潔淨要求嚴苛。 表面潔淨的目的主要在於清除所有的微量污染物 (有機物、金屬、微粒子等) ，把晶 片上的油脂、塵埃去除，此步驟相當重要，與後續成長奈米柱與奈米薄膜有相當大 的影響。因此讓同學們體會到做實驗每一個環節的重要性，做實驗其實沒有那麼容 易，每一個細節每一個步驟都要細心處理。做實驗同時也要注意實驗室安全，實驗 要做自身安全也要保護，將來同學上研究所也能了解到如何做好防護以保護自身安 全。 (1時間：) 100 年01月 27日。 (2)地點：4302普通物理實驗室。 (3)對象：應科系大一到研二學生（