椭偏技术在薄膜光学测量中的应用研究.pdfVIP

技术市场 椭偏技术在薄膜光学测量中的应用研究 张雅娟 (武汉职业技术学院电信学院，湖北 武汉 430074) 【摘 要】首先将阐述了ITO薄膜的特点，并将其与AZO薄膜的特点进行比较，然后结合当前的实际应用对ITO薄膜的应用 做了一定的归纳和总结，对未来ITO薄膜的广泛应用进行展望． 【关键词]ITO；TCO；AZO；电导率 由于薄膜产品特别是各种光电产品薄膜，在太阳能电池、 垂直纸面 的 S分量和平行于纸面 的P分量可根据 r = 等离子技术、光学薄膜期间、微电子器件等方面有着广泛应用， (n ‘ 。： 上 计算得到。式 因此收到光学材料界的高度重视。能否准备无误测量出各种薄 ， COS0． +n cose )～ (nCOS0．+I1．COS0 )… ～ … … 膜的光学厚度也成为人们关注的焦点，尤其是在光 电子产业的 中，n．、n，分别为入射介质与折射介质的折射率，0，、0，分别为 生产中，薄膜的光电特性参数——膜厚多少直接关系到薄膜产 入射角和折射角。而反射系数p=im也是复数，可根据干涉原理 品是否能正常工作，能否对镀膜工艺有所改进等诸多问题，可 r s 见膜厚测量的重要性。而椭偏技术在测量薄膜的厚度和介质折 计算出来。测量膜厚之前，首先需将根据椭偏技术制成的椭偏 射率等参数方面得到了广泛应用。在现代科学技术中，薄膜有 仪的光路进行调节，使得光源经过反射镜后成平行光；经过偏 着广泛的应用，因此测量薄膜的技术也有了很大的发展。膜厚 振片后得到线偏振光。线偏光入射到待测薄膜表面后所得到的 的测量方法有电阻法、放电电压法、电容法、激光衍射法、光纤 反射光，其偏振状态必将发生变化。可用单色仪将光路分光，再 位移传感器法、椭偏法 以及超声共振法等等。随着 由于电子计 用光电探测器将光信号变成电信号，送入计算机软件分析。测 算机 的广泛应用而发展起来的 目前 已有的测量薄膜的最精确 量时，先确定光路经过的第一个偏振片是否放在通光轴为零度 的方法之一就是椭偏法。膜厚测量方法一般是从两个角度出 的位置，然后将待测薄膜放在起偏器和检骗器的中间，插入 1／4 发，要么从光学理论出发，用光的波动性包括干涉、衍射、偏振 玻片并旋转至消光。此时薄膜的快轴与设备的光轴平行。最后 等方法来测量膜厚；要么从具体实际出发 ，根据测量厚膜的实 将起偏器的通光轴放在 45度的地方，开始用软件取样、测量。 验环境和条件不同，例如根据光源的不同，是激光源进行测量 由计算机分析计算出薄膜各光学性能参数。 还是用普通 白光源进行测量等等，选用不同的测量方法。不同 二、几种测量方法的比较 ’ 的测量方法所带来的膜厚测量的精确度也不一样。 (1)根据激光透射法测量膜厚，以光在基体内不产生干涉 一 、 椭偏技术原理 为前提。用这种方法可以获得相当高精度的膜厚测量，数量级 当振幅为A的面偏振光入射到石英晶体做成的 1／4波片 为几nm，能测量膜厚为 1到几百nm的薄膜。但 由于设备复杂， 时，若振动方向与波片光轴夹角为 0，O光和 O光的振幅分别 环境要求高，只能在实验室进行。(2)采用激光反射法测量膜 为ko=Asine和A~=Acos0。从波片出射后的O光和 e光的合振 厚，有很大的优势——测量范围大，从微米级到纳米级都可以， 动方程为椭圆方程，合振动矢量的端点轨迹一般为椭圆，即获 但是调试过程繁琐，难于实现。(3)基于白光光源的颜色色调检 得椭圆偏振光，再将其经过待测薄膜产品表面反射，反射光是 测法制成的椭偏仪测量膜厚时，实施起来