三离子束切割仪解剖玻璃光纤.PDF

Marketing 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn 三离子束切割仪解剖玻璃光纤 实验中光纤样品没有安装纤芯，纯玻璃材质，圆柱形中空结构， 外径大约350 微米，内径大约50 微米。样品提供者想用扫描电镜观 察玻璃光纤的中空位置，将样品制备成具有平整观察区域的横截面和 纵截面。如外力掰断玻璃光纤，截面凹凸不平边缘破损，无法有效观 察。对这类玻璃光纤剖面样品，机械切割磨抛方式很难保证切割面的 平整，也无法避免样品剖面的污染和边缘损伤；如果采用聚焦离子束 FIB 加工，应对几百微米的加工区域，将耗费大量时间和带来极高的 使用成本。因此，氩离子束切割仪几乎成为高效率、低成本的获取无 应力损伤和无污染的平整剖面的唯一的选择。 图1. 光学纤维的结构 使用徕卡EM TIC 3X 进行离子束切割是一项适用于切割硬的，软 的，多孔的，热敏感的，脆的和/或非均质多相复合型材料，获得高 质量切割截面，以适宜于扫描电子显微镜（SEM ）微区分析（能谱分 析EDS，波谱分析WDS，俄歇分析Auger ，背散射电子衍射分析EBSD） 和原子力显微镜（AFM ）分析。这一技术几乎是唯一一个适用于任何 材质样品，获得高质量切割截面的解决方法。使用该技术对样品进行 处理，样品受到形变或损伤的可能性最低，可暴露出样品内部真实的 结构信息。徕卡EM TIC 3X 在技术上超越了传统的离子束抛光切割设 备。它使用三离子束，并可装配冷冻样品台和三样品台，可以高速率 离子束轰击样品，得到宽且深的切割区域，获得一个高质量的平整的 切割截面，几乎适用于任何材料，整个样品处理过程快速简便。如图 Marketing 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn 2 所示，三离子束部件垂直于样品侧表面，因此在进行离子束轰击时 样品（固定在样品托上）不需要做摆动运动以减少投影/遮挡效应， 这又保证有效的热传导，减少样品在处理过程中受热变形。三离子束 汇聚于挡板边缘的中点，形成一个100°轰击扇面，切向暴露于挡板 上方的样品（样品上端高出挡板约 20-100 μm），直到轰击到达样品 内部目标区域。新型设计的离子枪可产生的离子束研磨速率达到150 μm/h (Si10 kV，3.0 mA ，50 μm 切割高度)。徕卡独特的三离子束系 统，可获得优异的高质量切割截面，并且速率高，切割面宽且深，这 可大大节约工作时间。通过这一独特技术可获得高质量切割截面，区 域尺寸可达4 ×1mm 在使用时，每一把离子枪可以单独控制和开关。 这便于操作者根据应用需要设置不同的离子枪参数，如做衬度增强作 用（离子束刻蚀）或温和地离子束轰击。 图2.徕卡EM TIC 3X 三离子束设计与控制 Marketing 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn 现在，样品中越来越小的细节结构正逐步受到人们的关注。而通 过切割获得截面，如获得很小的 TSVia 孔结构，已经变得轻而易举。 所有样品台都设计达到±2 μm 的样品位置校准精度。不仅样品台的 控制精度可以实现如此精确的目标定位校准工作，观察系统也可观察 最小