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交换藕合双层膜的基片温度效应研究 - 无机材料学报
第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 ,
年 月 ,
文章编号 一 一 一
交换藕合双层膜 的基 片温度 效应 研 究
邱进 军 , 李佐 宜 , 郑远 开 , 李 震 , 林 更 琪
熊 锐 , 胡作启 , 卢 志红
华 中理 工 大 学 电子 科 学与技 术 系, 武汉 中 国科 学院上 海 冶 金 所 ,
土 海
摘 要 用射频磁控溅射方法在 不 同基 片温度下玻璃基 片上分别制备 单层膜 、 单层
·
膜和 双 层膜 , 研 究 了不 同基 片温度对膜 的磁性 能 的影 响 用振 动样 品磁 强计
, 一 ,
‘
分析 了膜 的磁特性 结果表 明 基 片温度 时淀积 的 膜矫顽力 万 为 小
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