利用中空纤维薄膜接触器结合硫酸水溶液去除废液中 - 龙华科技大学.PDF

利用中空纖維薄膜接觸器結合硫酸水溶液去除廢液中氨氮之研究 -以半導體廠測試之實例 利用中空纖維薄膜接觸器結合硫酸水溶液去除廢液中氨氮之 研究 - 以半導體廠測試之實例 李九龍1 張瑩輝 2 張淑慧 2 1 2 龍華科技大學化工與材料工程系 龍華科技大學工程技術研究所 摘 要 本研究利用微孔PP(聚丙烯中空纖維薄膜處理法去除半導體廠氨氮之廢液，並產) 生硫酸銨之副產品。研究目的在探討不同參數對中空纖維薄膜處理氨氮能力之影響， 利用此法使排放水質中氨氮濃度能符合未來放流水標準之前提下，評估其在半導體廠 設置經濟有效操作之參數。 由研究成果顯示：當廢液 pH值越高且硫酸 pH值越低時，中空纖維薄膜處理氨氮 之效率越佳，當使用直徑 6”中空纖維薄膜組二組串連，且在氨氮濃度介於 300~400ppm 時，及操作溫度為 28°C條件下，廢液 pH值 ≧11.5 、硫酸pH值 ≦0.8 、廢液流量≦1.5 3 3 m /hr 、硫酸流量≧2m /hr ，氨氮處理效率可達94% 以上。 關鍵詞：氨氮、中空纖維薄膜。 1.前言 有傳統生物去除法、氣提吹脫物理法、化 氨氮是指水中以游離氨（ NH3 ）和氨 學折點氯化法等，傳統生物去除法此法處 離子（NH4+ ）形式存在的化合物，當過量 理效率佳、操作簡單等優點，但有設置成 氨氮排入水體將導致水體優養化，降低水 本高、處理設施占地面積很大等缺點；氣 體觀賞價值，氨氮在硝化過程中消除了水 提吹脫物理法此法處理流程簡單效率穩 中溶氧，造成水質惡化外，生成的硝酸鹽 定等優點，但有設置成本高、處理設施占 和亞硝酸鹽還會影響水生生物生長甚至 地面積大及能源消耗大等缺點；化學折點 人類的健康。 氯化法此法處理效率佳及製程步驟簡單 半導體廠使用的NH OH及 NH F 等 等優點，但有設置成本高、運轉操作成本 4 4 化學藥劑會產生含氨氮之廢水，而環保署 高及能源消耗大等缺點。目前業界尚無使 於 100 年6月 16日預告訂定晶圓製造及 用以中空纖維薄膜處理法 ( 以下簡稱為此 半導體製造業之放流水標準中，將氨氮列 法)[1,2]處理氨氮之實績，此法有處理設 入管制。將採兩階段管制。第一階段限值 施占地面積小、處理效率佳、製程步驟簡 為 75mg/L ，自101 年7月 1日施行。第 單、低能耗、無空氣汙染等優點。 二階段限值為 30mg/L ，自104 年7 月 1 日起施行。 2.研究目的 目前國內半導體業去除氨氮較常用 研究中探討不同參數對中空纖維薄 63 龍華科技大學學報第三十二期 ,2012.06 膜處理氨氮能力之影響，以獲得符合法規 PP 聚丙烯纖維，型號為 Extra-Flow 前提下最佳操作變數。研究目的除探討利 6x28 ；外殼:不鏽鋼；設計流量:5~50gpm 。 用此法使排放水質中氨氮濃度能符合未 Liquid Volume:6.7liters ；Maxweight:17.1kg ；最 來放流水標準之要求前提外，亦尋求其在 大壓力:8.3bar at 25℃ ；120PSI at 77℉ ； 半導體廠經濟有效操作之參數。