溶胶—凝胶法制备TiO,2薄膜的工艺过程研究.pdfVIP

摘要 本实验以钛酸丁酯为先驱体，无水乙醇为溶剂，采用不同络合剂 (乙酰丙酮、二乙醇胺)制备出稳定的Ti02络合物溶胶。对络合剂 的种类选择、各种外加剂的引入对溶胶结构、薄膜结构造成的影响以 及加入水量的不同对溶胶结构、凝胶结构、以及生成薄膜结构的不同 作了详细的分析和研究。同时对热处理制度、基片选择对薄膜性能的 影响作了探讨。 在不同的络合剂条件下，溶胶体系中溶胶的实际结构由很大的不 同，络合剂为乙酰丙酮时，由于乙酰丙酮与钛酸丁酯发生螯合反应， 使生成的Ti02络合物溶胶体系更加稳定，由这一溶胶制得的薄膜性 能也比较优良。 DCCA和聚乙二醇的等外加剂的引入可以有效的改善薄膜的干 燥和热处理过程，对于获得理想的薄膜表面结构有重要的作用。在不 同的水量条件下，溶胶中颗粒内部的结合状态有很大的不同，这对于 后期制得的薄膜的形态有很大影响， 在低水量条件下，薄膜的表面形态很不理想，开裂很大；在高水 量条件下，溶胶颗粒内部是一种高交联度的溶胶结构，这一结构有很 好的成膜特性，最终得出在水量为10条件下，按照此工艺制得的薄 膜表面形貌最好。 聚乙二醇不仅对薄膜的表面形态的改善有帮助，而且使薄膜在获 得较好表面形态的同时，在络合剂量为2的条件下，在薄膜表面生成 了规则的孔洞结构。孔洞结构在薄膜表面均匀分布，孔洞大小均匀、 均匀分布于每一层薄膜中。 关键词：溶胶一凝胶法； 二氧化钛薄膜；乙酰丙酮：高水量条件： 聚乙二醇 ABSTRACT TitaniumdioxideSolwas titanateas preparedtertrabutyl using ethanolassolventanddifferent precusor，absolute complexingagents in wereaddedintothesols ordertoformstableSOlTheinfluenceof ontitaniasol’Sandfilm’Sstructureandthe complexingagenttype influenceofdifferentwater totitania andfinalfilm’S quantity sol’S、gel’S s仃uctllrewerestudied． Titaniasol’Sstructurewillbedifferentif difierent using complexing in titaniumsolswillbemorestableif agentspreparationprocess．The AcAcasthe becauseofthe reaction using complexingagent chelating betweenAcAcand this ftms tertrabutyl sol，we titanate．Preparedby got with goodproperty The obtainedformtheconditionof water is