基于场效应晶体管的高压电脉冲产生技术 - 强激光与粒子束.PDF

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２０ １２ Ｖｏｌ．２０ Ｎｏ．１２ 　 　 年 月 ， ２００８ １２ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｄｅｃ． ２００８ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２００８１２２１０９０４ 　 基于场效应晶体管的高压电脉冲产生技术 刘 鑫， 刘进元， 杨 方， 张凤霞 　 　 　 　 　 （深圳大学 光电子学研究所，广东 深圳 ５１８０６０） 摘 要： 以高速 ＭＯＳＦＥＴ器件为基础，对超快高压电脉冲产生技术进行了实验研究。采用多路并联的 　　 　 　 高速 ＭＯＳＦＥＴ与感应叠加相结合的形式，得到脉冲半宽度为 ３００ｎｓ、上升时间约为 ６０ｎｓ、时间间隔 ６００ｎｓ的 超快方波双脉冲；在负载电阻为 １１．５Ω时，可以产生３６５Ａ的脉冲峰值电流，并且能够提供 １．５ＭＷ 的峰值输 出功率。 关键词： ＭＯＳＦＥＴ； 高压脉冲； 感应叠加； 脉冲变压器 　　 　 　 　 　 中图分类号： ＴＮ３８６ 文献标志码： Ａ 　　 　 　　　　 　 放电开关在脉冲功率技术中具有重要的作用，传统的线性调制器采用充有惰性气体的闸流管作为开关元 　　 件，这种闸流管虽然可以承受很高的电压，但其重复工作频率较低，稳定性差。随着电子技术的发展，出现了一 些以ＩＧＢＴ和高速 ＭＯＳＦＥＴ作为开关元件的半导体固态调制器，这些开关器件具有工作频率高和触发稳定 性好等优点，但单个管子的耐压值和输出电流都不能满足实际应用的要求。为了克服这个缺点，出现了各种各 ［ ］ １３ 样的电路结构，其中感应叠加形式的优点最为突出。国外较早地进行了相关技术的研究工作 ： 研制 ＬＬＮＬ 的应用于ＤＡＲＨＴＩＩ的开关调制器已完成了样机制造，其输出电压为２０ｋＶ，脉冲前后沿小于２０ｎｓ，可以产生 时间间隔 的 路方波信号，平顶宽度 之间连续可调。近几年，国内也开展了这方面的研究 ６００ｎｓ ４ ３０ ２００ｎｓ ～ ［ ］ ４６ 工作 ，其中，中国工程物理研究院流体物理研究所将两支 器件进行串并联，分别获得了 ／ ＭＯＳＦＥＴ １３０Ａ ２ 的并联输出及 ／ 重复频率脉冲串输出；中国科技大学国家同步辐射实验室采用感应叠加方