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2017-07-17 发布于上海
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白光扫描干涉法测量三维表面形貌的研究.pdf

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白光扫描干涉法测量三维表面形貌的研究

57156 Y 9 硕士论文白光扫描干涉法测量三维表面形貌的研究摘要自光扫描干涉法在三维表面形貌的测量中有着广阔的应用前景。本文在了解各种三维表面形貌测量方法的基础上，比较了各种方法的优缺点，对使用白光扫描干涉法高精度测量三维表面形貌技术进行了研究。建立了在频域分析白光干涉图像求解表面高度的算法，在消除相位跃变上作了主要工作。分析了PZT步进间隔、步进总数、cCD灰度等级这几个参数以及PZT误差对计算高度准确性的影响。自行组建了白光扫描干涉测量的实验装置，编程实现了?ZT扫描的控制、CCD图像的采集，通过计算得到被测的三维表面图像，验证了白光干涉频域分析算法可以消除相位的不确定性。白光扫描干涉法扩大了纵向测量范围，达到了纳米级的精度。关键词白光扫描干涉法，表面形貌，?ZT 硕士论文白光扫描干涉法测量三维表面形貌的研究 Abstract of 3-D has Scanning surface white一]ightinterferometry measuring topography awide J oninthefeature．Severalmethods appticat of 3-Dsurface measuring areintroducedjnthis the ofthese topography paper，and methods advantages are of 3-Dsurface compared．The technologyhigh～precision on based white is describedin analyzing 1ight scanning interferometry detai ls． The the of surface algorlthm calculating heightbyanalyzing in domainis the interferogramsfrequency andhowtoremove implemented， inthe datais