单晶炉拆装炉注意事项.pdf

装炉工艺要求及注意事项 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 ÿ .热态检漏 1.关闭氩气总开关,并打开主、副室流量计. 2.晶转、埚转保持开启状态分别为5转、2转. 3.检漏要求3分钟,平均每分钟漏速＜0.3Pa/分钟（如果漏速过大拆 炉后报修）。 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 二.取单晶棒 1.检漏完成后将主、副室及氩气总开关打开（确认单晶棒是否在副室内） 2.副室小门充开后开启液压泵用安全接盘接好晶棒，移动副室过程中注意平 稳确保晶棒撞不到副室内壁。 3.降晶棒时注意晶棒是否平稳，并无晶转。晶框放在晶棒的正下 ，拉速器 在降晶棒过程中不能用其他物品卡上。 4.晶棒尾部与晶框底部接触时停止下降，注意不能降的过低造成籽晶断裂 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 三.取热场 1.取热场前做好准备工作，如高温手套、不锈钢小车、不 锈钢吸尘管、不锈钢板、取加热器工具、砂纸、酒精、无 尘纸、口罩等。 2.取热场的顺序依次为：小拆，导流筒→保温盖→上保 温筒 （取前先升炉筒）→石英坩埚→三瓣埚→托盘→埚杆 （取埚杆时注意不能撞到中 保温或加 热器，取下后不能放在上保温筒内，应放在不锈钢小车 上）。 大拆，取埚杆→加热器 （两个人翻转时注意手的位置并 同时用力）→中保温筒 （两个人抬， 个人易破）→下保 温 筒→电极、电极护套→上下压片→ 炉底碳毡。 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 炉体和热场 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 四.清理单晶炉 1.如炉内壁有较多氧化物时 用细砂纸打磨，然后再使用 无尘纸加酒精擦洗炉盖、炉筒、炉底。 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 2.排气孔的清理 包括：炉内两侧排气孔、外排气孔以及中间排气管和波纹 管。 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 3.真空过滤罐的清理 清理时注意酒精的用量。 定要看清对应编号在清理。 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 五.清理石墨件 1.导流筒用钢丝球或粗砂纸打磨 （氧化严重时才可用打磨 机打磨） 打磨前导流筒 打磨后导流筒 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 2.保温盖分为上下两个保温盖 拆开打磨 （注意氧化物不得有残留） 打磨前 打磨后 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 3.加热器同样使用粗砂纸或钢丝球打磨 （切记不得 使用高温手套擦洗，加热器安装后容易打火） 打磨前 打磨后 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 4.三瓣埚正（氧化物）反 （硅料）两面都 清理干净包括底部